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龙图腾网获悉宁波欧达光电有限公司申请的专利一种晶硅双面多层钝化膜的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119698107B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411817476.4，技术领域涉及：H10F71/00；该发明授权一种晶硅双面多层钝化膜的制备方法是由谢小两;庞健;寿轶明;夏军;李冬设计研发完成，并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶硅双面多层钝化膜的制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及光伏设备技术领域，具体涉及一种晶硅双面多层钝化膜的制备方法。其制备方法包括以下步骤：基底不锈钢片预处理；制备多层复合膜；处理多层复合膜；制备磷酸盐软玻璃液；制备晶硅双面多层钝化膜。本发明通过将磷酸盐软玻璃液镀覆在多层复合膜表面，从而提高以氮化硅为主要成分的多层复合膜的抗裂性能，在高温处理过程中，磷酸盐组分可以帮助促进晶界移动，这对于改善氮化硅硅界面的质量和钝化效果非常有利，并且磷酸盐软玻璃的弹性模量相对较低，可以在氮化硅膜与基板之间充当缓冲层，有助于减轻或平衡由于氮化硅高应力可能导致的基板变形或裂纹问题。

本发明授权一种晶硅双面多层钝化膜的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种晶硅双面多层钝化膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤： S1：基底不锈钢片预处理准备不锈钢片，对不锈钢片进行机械打磨，然后抛光至镜面，依次在丙酮、无水乙醇中进行超声波清洗，最后用吹风机吹干，放置于干燥箱中待用，然后通过PECVD技术在不锈钢片上镀膜，镀膜反应使用气体为NH3和SiH4，在不锈钢片上得到氮化硅镀膜； S2：制备多层复合膜采用等离子体表面处理技术对氮化硅镀膜表面进行亲水处理，将氮化硅镀膜置于等离子体处理机中，通入乙烯‑四氟乙烯共聚物ETFE，待起弧后，进行等离子体接枝处理，即得双层复合膜，将双层复合膜置于等离子体增强化学气相沉积系统腔室的两个电极板之间，然后通入六甲基二硅氧烷单体和反应气体氧气，进行等离子体辅助化学气相沉积二氧化硅，得到多层复合膜； S3：处理多层复合膜将乙酸丁酯与EtOH混合制备混合溶剂，将乙二胺四乙酸、偶氮二异丁氰和交联剂二氨基对苯二酚混合后加入混合溶剂内，得到处理液，于N2保护下将多层复合膜升温，浸于处理液中，然后恒温反应，随后即制得改性多层复合膜； S4：制备磷酸盐软玻璃液将正磷酸四乙酯加入五氧化二磷的醇溶液中，再加入盐酸溶液，得到磷酸盐溶液，分馏磷酸盐溶液，得到溶胶，再将溶胶加入正磷酸四乙酯和硝酸铝的醇溶液，得到磷酸盐软玻璃液； S5：制备晶硅双面多层钝化膜在通风柜中把改性多层复合膜浸入到磷酸盐软玻璃液中，停留5‑10秒使基片表面完全浸润，然后向上拉出，干燥，得到晶硅双面多层钝化膜。

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