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浙江美晶新材料股份有限公司万卓夫获国家专利权

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龙图腾网获悉浙江美晶新材料股份有限公司申请的专利一种液面防抖石英坩埚及其制备方法与应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120328841B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510796603.5,技术领域涉及:C03B19/09;该发明授权一种液面防抖石英坩埚及其制备方法与应用是由万卓夫;王洋洋;陶飞;陈超;周勇;吴伟华设计研发完成,并于2025-06-16向国家知识产权局提交的专利申请。

一种液面防抖石英坩埚及其制备方法与应用在说明书摘要公布了:本发明公开了一种液面防抖石英坩埚及其制备方法与应用,属于石英坩埚技术领域。该液面防抖石英坩埚的制备包括:将模具内成型的石英坩埚本体进行电弧熔融,向旋转状态下的石英坩埚本体的直壁位置进行喷砂处理,以在石英坩埚本体的周向内壁形成石英砂带,随后冷却、脱模;石英砂带的上下表面分别位于预设的拉晶液位线之上和之下。上述方法简单,易操作,制备得到的液面防抖石英坩埚中石英砂带具有细小的空隙,可以使拉晶过程中反应产生的一氧化硅气体从这些细小空隙溢出,减少从硅液面溢出的气体,从而可改善或避免由于硅液面溢出气体导致的液面抖动情况,进而有利于提高拉晶过程中单晶硅棒的整棒率。

本发明授权一种液面防抖石英坩埚及其制备方法与应用在权利要求书中公布了:1.一种液面防抖石英坩埚的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:将模具内成型的石英坩埚本体进行电弧熔融,向旋转状态下的所述石英坩埚本体的直壁位置进行喷砂处理,以在所述石英坩埚本体的周向内壁形成石英砂带,随后冷却、脱模; 所述石英砂带的上表面位于预设的拉晶液位线之上,且所述石英砂带的下表面位于预设的拉晶液位线之下; 喷砂处理是在电弧熔融15min~40min后进行,电弧熔融的电流为1000A~5000A;喷砂处理所用的石英砂的粒径为300μm~500μm;喷砂处理过程中,所述石英坩埚本体的旋转速度为50rmin~120rmin;喷砂处理的时间为30s~100s;喷砂处理的喷口距离所述模具的上端口的距离为50mm~200mm;喷砂处理的喷口距离所述石英坩埚本体的内壁的距离为30mm~50mm; 所述石英砂带的宽度为30mm~110mm;所述石英砂带的厚度为1mm~1.5mm;所述石英砂带的粗糙度为12μm~23μm;所述石英砂带的孔隙率为30%~60%;所述石英砂带中孔隙的孔径为43μm~104μm。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人浙江美晶新材料股份有限公司,其通讯地址为:312300 浙江省绍兴市上虞区盖北镇杭州湾上虞经济技术开发区东二区舜园路16号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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