苏州尊恒半导体科技有限公司肖锦成获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州尊恒半导体科技有限公司申请的专利一种高密封性的大板刻铜治具获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120613296B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511100196.6,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权一种高密封性的大板刻铜治具是由肖锦成;孙彩霞;任恒伟设计研发完成,并于2025-08-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高密封性的大板刻铜治具在说明书摘要公布了:本发明公开了一种高密封性的大板刻铜治具,涉及大板制造技术领域,包括治具底板、密封机构和清洁机构,所述密封机构设置在所述治具底板的顶部,所述清洁机构设置在所述治具底板的底部,所述密封机构包括底板磁钢、顶板磁钢、第一距离传感器和橡胶隔层,所述底板磁钢设置在所述顶板磁钢的顶部,所述第一距离传感器设置在所述橡胶隔层的顶部,所述底板磁钢用于和顶板磁钢之间互相吸附,第一距离传感器用于检测橡胶隔层表面高低情况,实时检测橡胶隔层与治具盖板的表面平整度,确保密封效果,由此避免通过螺纹此种方式长时间拆卸会造成治具的螺纹失效,以至于密封失效,此时需要频繁更换治具,从而导致很大的成本浪费。
本发明授权一种高密封性的大板刻铜治具在权利要求书中公布了:1.一种高密封性的大板刻铜治具,包括治具底板1、密封机构和清洁机构,其特征在于:所述密封机构设置在所述治具底板1的顶部,所述清洁机构设置在所述治具底板1的底部; 所述密封机构包括底板磁钢202、顶板磁钢206、第一距离传感器211和橡胶隔层205,所述底板磁钢202设置在所述顶板磁钢206的顶部,所述第一距离传感器211设置在所述橡胶隔层205的顶部,所述底板磁钢202用于和顶板磁钢206之间互相吸附,第一距离传感器211用于检测橡胶隔层205表面高低情况; 所述密封机构还包括外密封圈201,所述外密封圈201安设在所述治具底板1的顶部,所述治具底板1的内侧与所述底板磁钢202固定连接,所述底板磁钢202的内侧设置有内密封圈203,所述治具底板1的顶部设置有治具盖板204,所述治具盖板204的底部与所述顶板磁钢206固定连接,所述顶板磁钢206的外侧设置有上密封圈207,所述底板磁钢202与顶板磁钢206设置在对应位置。
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