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上海市计量测试技术研究院(中国上海测试中心、华东国家计量测试中心、上海市计量器具强制检定中心);上海芬创信息科技有限公司雷李华获国家专利权

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龙图腾网获悉上海市计量测试技术研究院(中国上海测试中心、华东国家计量测试中心、上海市计量器具强制检定中心);上海芬创信息科技有限公司申请的专利基于激光干涉仪的纳米光栅位姿校准系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223412679U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422737776.3,技术领域涉及:G01B11/02;该实用新型基于激光干涉仪的纳米光栅位姿校准系统是由雷李华;邹文哲;管钰晴;朱言瑧;郭创为;刘丽琴;曾志超;张玉杰;张岚设计研发完成,并于2024-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。

基于激光干涉仪的纳米光栅位姿校准系统在说明书摘要公布了:本实用新型为一种基于激光干涉仪的纳米光栅位姿校准系统,包括光路系统及位移台驱动系统,所述的位移台驱动系统包括四轴位移台,所述的四轴位移台的安装台面上设有用于安装纳米光栅的纳米光栅支架和激光干涉仪,所述的纳米光栅通过四轴位移台依次对纳米光栅三轴方向角度分别进行修正,包括俯仰、横滚与偏摆三自由度上的自由转动以及光栅轴线方向上的线位移。本实用新型采用激光干涉仪测量值作为光栅姿态的修正反馈,将光栅位移测量系统的测量值与其进行比对,判断四轴位移台各轴的调整方向,最后再经由多次驱动四轴位移台,将纳米光栅支架调整至理想位置,解决纳米光栅位姿误差问题。

本实用新型基于激光干涉仪的纳米光栅位姿校准系统在权利要求书中公布了:1.一种基于激光干涉仪的纳米光栅位姿校准系统,其特征在于:包括光路系统及位移台驱动系统,所述的位移台驱动系统包括四轴位移台,所述的四轴位移台的安装台面上设有纳米光栅支架和激光干涉仪,所述的纳米光栅支架上安装有纳米光栅,所述的光路系统包括激光器、波片I、波片II、波片III、偏振分光棱镜、偏振片、干涉仪测量光反射镜、平面反射镜I及平面反射镜II,所述的波片I和偏振分光棱依次设于激光器发射光光路上,所述的偏振分光棱水平偏振光光路上依次设置波片III 和平面反射镜II ,所述的偏振分光棱的垂直偏振光光路上依次设置波片II 和平面反射镜I ,所述的纳米光栅设于平面反射镜II 及平面反射镜I 的反射光路上,所述的纳米光栅分别对来自平面反射镜II 及平面反射镜I 的反射光形成相应衍射光光路,并经偏振分光棱镜后合束后形成衍射光光路,在所述的衍射光光路上依次设置偏振片及光电探测器,所述的干涉仪测量光反射镜设于激光干涉仪上,所述的四轴位移台所作的是分别以x,y,z三轴方向的旋转运动和以x轴方向的线运动构成的四轴位移运动。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海市计量测试技术研究院(中国上海测试中心、华东国家计量测试中心、上海市计量器具强制检定中心);上海芬创信息科技有限公司,其通讯地址为:201203 上海市浦东新区张衡路1500号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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