芯恩(青岛)集成电路有限公司陈洋洋获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利一种防撞针装置及半导体设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223413363U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422483334.0,技术领域涉及:G01R1/067;该实用新型一种防撞针装置及半导体设备是由陈洋洋;邱海斌设计研发完成,并于2024-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种防撞针装置及半导体设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种防撞针装置及半导体设备,通过设置固定探针台、可动探针台、以及设置在固定探针台和可动探针台之间的弹射机构和连接机构;固定探针台的下方设有用于承载晶圆的卡盘,可动探针台上设有用于检测晶圆的探针卡;连接机构,用于维持或解除可动探针台和固定探针台之间的固定连接;弹射机构,用于在可动探针台和固定探针台之间的固定连接解除时,控制可动探针台移动以带动探针卡远离卡盘。利用固定探针台和可动探针台构成的分离式探针台,并利用连接结构和弹射机构相互配合,能够及时解除可动探针台和固定探针台之间的固定连接,使得可动探针台移动以带动探针卡远离卡盘,进而实现对探针卡的保护,避免撞针的发生。
本实用新型一种防撞针装置及半导体设备在权利要求书中公布了:1.一种防撞针装置,其特征在于,包括固定探针台、可动探针台、以及设置在所述固定探针台和可动探针台之间的弹射机构和连接机构; 所述固定探针台的下方设有用于承载晶圆的卡盘,所述可动探针台上设有用于检测所述晶圆的探针卡; 所述连接机构,用于维持或解除所述可动探针台和固定探针台之间的固定连接; 所述弹射机构,用于在所述可动探针台和固定探针台之间的固定连接解除时,控制所述可动探针台移动以带动所述探针卡远离所述卡盘。
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