矽品科技(苏州)有限公司康通获国家专利权
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龙图腾网获悉矽品科技(苏州)有限公司申请的专利晶圆承载平台的阻抗测量装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223413380U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422578574.9，技术领域涉及：G01R27/02；该实用新型晶圆承载平台的阻抗测量装置是由康通;朱龙龙设计研发完成，并于2024-10-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆承载平台的阻抗测量装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆承载平台的阻抗测量装置，包括阻抗测量仪，阻抗测量线，待阻抗测量晶圆承载平台所在的机台，第一继电器及第一传感器；第一传感器的信号输出接口连接于第一继电器的负极接口，第一继电器的正极接口连接于正电源；阻抗测量仪的测量输入接口通过阻抗测量线连接于待阻抗测量晶圆承载平台底部的电阻块；阻抗测量仪的常闭触点的一端与正电源连接，常闭触点的另一端通过电磁阀与负电源连接；阻抗测量仪还通过第一继电器的常开触点与电源连接；其中，电磁阀被设置于机台的用于控制上升的气管中，第一传感器被配置为对晶圆承载平台的下降状态进行侦测。本实用新型能够在无需破坏真空环境的前提下对晶圆承载平台的阻抗进行测量。
本实用新型晶圆承载平台的阻抗测量装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆承载平台的阻抗测量装置，其特征在于，包括： 阻抗测量仪，阻抗测量线，待阻抗测量晶圆承载平台所在的机台，第一继电器及第一传感器；所述第一传感器的信号输出接口连接于所述第一继电器的负极接口，所述第一继电器的正极接口连接于正电源； 所述阻抗测量仪的测量输入接口通过所述阻抗测量线连接于待阻抗测量晶圆承载平台底部的电阻块； 所述阻抗测量仪的常闭触点的一端与正电源连接，所述常闭触点的另一端通过电磁阀与负电源连接； 所述阻抗测量仪还通过所述第一继电器的常开触点与电源连接； 其中，所述电磁阀被设置于所述机台的用于控制上升的气管中，所述第一传感器被配置为对所述晶圆承载平台的下降状态进行侦测。
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