珠海恒格微电子装备有限公司李志强获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉珠海恒格微电子装备有限公司申请的专利一种等离子刻蚀机温控系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223414033U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521447937.3，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种等离子刻蚀机温控系统是由李志强;赵义党;李志华;蔡育丹设计研发完成，并于2025-07-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种等离子刻蚀机温控系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种等离子刻蚀机温控系统，其包括真空室，真空室中设置有电极组件，电极组件包括若干电极板，真空室上还设置有若干与中央控制器电性连接的电磁阀，电磁阀一一对应的控制电极板中冷却水的流速；每个电极板上均设置有与中央控制器电性连接的温度传感器；使用时温度传感器会对应监测每个电极板的温度，将信号传回给中央控制器，之后中央控制器分析后，通过每个电极板的电磁阀，控制每个电极板中冷却水的流速，进而精确控制每个电极板的温度，确保每个电极板，在反应过程中，时刻处于最佳工作温度区间，满足高刻蚀均匀性要求的产品的刻蚀需求。
本实用新型一种等离子刻蚀机温控系统在权利要求书中公布了：1.一种等离子刻蚀机温控系统，其特征在于，包括真空室100，所述真空室100中设置有电极组件，所述电极组件包括若干电极板101，所述真空室100上还设置有若干与中央控制器电性连接的电磁阀102，所述电磁阀102一一对应的控制所述电极板101中冷却水的流速；每个所述电极板101上均设置有与所述中央控制器电性连接的温度传感器103，所述温度传感器103均通过绝缘压块106设置在所述电极板101的后端面，所述真空室100的顶部设置有引线真空密封机构200；所述温度传感器103的引线沿所述电极板101的后端沿伸至顶部，并通过所述引线真空密封机构200穿出所述真空室100，所述引线上均套接有绝缘套。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人珠海恒格微电子装备有限公司，其通讯地址为：519000 广东省珠海市高新区唐家湾镇金园一路6号4栋2层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由AI智能生成
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励