西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司刘洋获国家专利权
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龙图腾网获悉西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司申请的专利硅片搬运方法和装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119694957B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411787833.7，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权硅片搬运方法和装置是由刘洋;李昊;魏洋;胡斌;刘永亮设计研发完成，并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本硅片搬运方法和装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种硅片搬运方法和装置，涉及半导体技术领域，所述硅片搬运方法，应用于硅片缓存系统，所述方法包括：获取每一第一缓存单元发送的第一指示信息，第一指示信息用于指示第一缓存单元的单元标识与硅片承载装置的承载标识之间的对应关系；根据第一指示信息，向第一目标缓存单元发送第一目标缓存单元上承载的硅片承载装置内硅片的LTO信息，第一目标缓存单元为第一缓存单元中的至少一个缓存单元；控制搬运机构将接收到LTO信息的第一目标缓存单元上的硅片承载装置搬运至硅片加工设备。本发明方案，能够尽可能减少缓存单元空闲的情况，提高硅片的搬运流程效率，进而提高硅片的加工效率。
本发明授权硅片搬运方法和装置在权利要求书中公布了：1.一种硅片搬运方法，其特征在于，应用于硅片缓存系统，所述硅片缓存系统包括多个缓存单元，其中，所述多个缓存单元依照工艺顺序依次排列，最后一个工艺顺序对应的缓存单元与硅片加工设备连接； 所述方法包括： 获取每一第一缓存单元发送的第一指示信息，其中，所述第一缓存单元为所述多个缓存单元中承载有硅片承载装置的缓存单元，所述第一指示信息用于指示所述第一缓存单元的单元标识与所述硅片承载装置的承载标识之间的对应关系； 根据所述第一指示信息，向第一目标缓存单元发送所述第一目标缓存单元上承载的硅片承载装置内硅片的低温氧化物LTO信息，其中，所述第一目标缓存单元为所述第一缓存单元中的至少一个缓存单元； 控制搬运机构将接收到所述LTO信息的所述第一目标缓存单元上的硅片承载装置搬运至所述硅片加工设备。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司，其通讯地址为：710000 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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