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龙图腾网获悉上海芯源微企业发展有限公司申请的专利一种具有检测功能的晶圆运输装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120565476B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511061825.9，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种具有检测功能的晶圆运输装置是由刘涛;彭博;王荣祥;李爽;肖静;宋宣颉;赵琦设计研发完成，并于2025-07-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种具有检测功能的晶圆运输装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种具有检测功能的晶圆运输装置，其特征在于，包括可移动的承载件；连接部，设于所述承载件；相对设置的夹持机构，所述夹持机构可移动的设于所述连接部；相对设置的所述夹持机构相互靠近，以夹持所述晶圆；相对设置的所述夹持机构相互远离，以松开所述晶圆；第一检测装置，具有第一发射件和第一接收件，且所述第一发射件和所述第一接收件相对设置；其中，所述第一发射件用于发射第一检测光线，所述第一接收件用于接收经所述晶圆反射后的所述第一检测光线，以检测所述晶圆的表面图案。本发明能够提升晶圆运输效率和检测效率。

本发明授权一种具有检测功能的晶圆运输装置在权利要求书中公布了：1.一种具有检测功能的晶圆运输装置，其特征在于，包括可移动的承载件100； 连接部200，设于所述承载件100； 相对设置的夹持机构300，所述夹持机构300可移动的设于所述连接部200；相对设置的所述夹持机构300相互靠近，以夹持晶圆；相对设置的所述夹持机构300相互远离，以松开所述晶圆； 第一检测装置，具有第一发射件410和第一接收件420，且所述第一发射件410和所述第一接收件420相对设置； 所述夹持机构300包括： 相对设置的第一夹爪310，可移动的设于所述连接部200，所述第一夹爪310的端部设有第一支板311，所述第一支板311用于与所述晶圆的其中一个端面接触； 相对设置的第二夹爪320，可移动的设于所述连接部200，所述第二夹爪320的端部设有第二支板321，所述第二支板321用于与所述晶圆的另一个端面接触，以与所述第一支板311配合，将所述晶圆夹持； 第一驱动组件330，包括第一带动板331和第一驱动件332；所述第一带动板331用于连接相对设置的所述第一夹爪310；所述第一驱动件332设于所述连接部200并与所述第一带动板331连接，以驱动所述第一带动板331和相对设置的所述第一夹爪310靠近或远离所述晶圆； 第二驱动组件340，包括第二带动板341和第二驱动件342；所述第二带动板341用于连接相对设置的所述第二夹爪320；所述第二驱动件342设于所述连接部200并与所述第二带动板341连接，以驱动所述第二带动板341和相对设置的所述第二夹爪320靠近或远离所述晶圆； 其中，所述第一发射件410用于发射第一检测光线411，所述第一接收件420用于接收经所述晶圆反射后的所述第一检测光线411，以检测所述晶圆的表面图案。

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