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龙图腾网获悉上海芯源微企业发展有限公司申请的专利一种晶圆翻转装置及晶圆翻转设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120565477B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511061828.2，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种晶圆翻转装置及晶圆翻转设备是由刘涛;彭博;王荣祥;李爽;肖静;宋宣颉;赵琦设计研发完成，并于2025-07-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆翻转装置及晶圆翻转设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆翻转装置及晶圆翻转设备，包括可移动的承载件：支撑部，设于所述承载件；相对设置的夹持机构，均可移动的设于所述支撑部，每个所述夹持机构均包括多个夹持组件，所述夹持组件用于夹持晶圆，且多个所述夹持组件沿竖直方向间隔设置；相对设置的所述夹持机构相互靠近，以使每个所述夹持组件夹持对应的所述晶圆；相对设置的所述夹持机构相互远离，以使每个所述夹持组件松开对应的所述晶圆；翻转件，设于所述承载件，与所述支撑部连接，用于带动所述支撑部和所述夹持机构翻转。晶圆翻转设备，包括晶圆翻转装置，所述晶圆翻转装置设有至少两个，相邻的所述晶圆翻转装置的间隔大于所述晶圆的半径。本发明能够提升晶圆翻转效率。

本发明授权一种晶圆翻转装置及晶圆翻转设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆翻转装置，其特征在于，包括可移动的承载件100： 支撑部200，设于所述承载件100； 相对设置的夹持机构，均可移动的设于所述支撑部200，每个所述夹持机构均包括多个夹持组件300，所述夹持组件300用于夹持晶圆，且多个所述夹持组件300沿竖直方向间隔设置；相对设置的所述夹持机构相互靠近，以使每个所述夹持组件300夹持对应的所述晶圆；相对设置的所述夹持机构相互远离，以使每个所述夹持组件300松开对应的所述晶圆； 所述夹持组件300包括第一夹持装置310和第二夹持装置320，第一夹持装置310包括相对设置的第一夹爪311；所述第二夹持装置320包括相对设置的第二夹爪321；所述第一夹爪311用于承载所述晶圆，所述第二夹爪321用于在所述第一夹爪311承载所述晶圆后沿所述晶圆的径向运动以与所述第一夹爪311配合夹持所述晶圆； 翻转件400，设于所述承载件100，与所述支撑部200连接，用于带动所述支撑部200和所述夹持机构翻转； 所述第一夹爪311的端部设有第一支板312，所述第一支板312用于与所述晶圆的其中一个端面接触；所述第二夹爪321的端部设有第二支板322，所述第二支板322在所述第一支板312承载所述晶圆后沿所述晶圆的径向运动以与所述第一支板312配合夹持所述晶圆； 所述夹持机构还包括： 第一驱动组件330，包括第一带动板331和第一驱动件332；所述第一带动板331用于连接多个所述第一夹持装置310；所述第一驱动件332设于所述支撑部200并与所述第一带动板331连接，以驱动所述第一带动板331和多个所述第一夹持装置310靠近或远离所述晶圆； 第二驱动组件340，包括第二带动板341和第二驱动件342；所述第二带动板341用于连接多个所述第二夹持装置320；所述第二驱动件342设于所述支撑部200并与所述第二带动板341连接，以驱动所述第二带动板341和多个所述第二夹持装置320靠近或远离所述晶圆。

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