永清县良晶半导体设备有限公司王博文获国家专利权
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龙图腾网获悉永清县良晶半导体设备有限公司申请的专利一种硅片用清洗干燥装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223417839U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422111211.4，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型一种硅片用清洗干燥装置是由王博文设计研发完成，并于2024-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片用清洗干燥装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种硅片用清洗干燥装置，属于硅片清洗技术领域，包括装置本体，装置本体内设置有用于夹持硅片的夹持单元、干燥单元和清洗单元，所述干燥单元设置在所述清洗单元的上端，所述清洗单元包括清洗液管和与所述清洗液管连接的旋转喷头，所述干燥单元包括烘干组件和驱动所述烘干组件移动的驱动组件，所述夹持单元包括设置在硅片两端的夹持块，一侧夹持块的外部通过微型电动旋转器与移动组件连接，另一侧的夹持块与从动组件转动连接。本实用新型通过在硅片的夹持块外部设置微型电动旋转器，然后利用微型电动旋转器与移动组件和从动组件连接，在进行清洗工作时，清洗完一面利用微型电动旋转器对硅片进行换面，实现对硅片双面的清洗。
本实用新型一种硅片用清洗干燥装置在权利要求书中公布了：1.一种硅片用清洗干燥装置，其特征在于： 包括装置本体，所述装置本体内设置有用于夹持硅片的夹持单元、干燥单元和清洗单元，所述干燥单元设置在所述清洗单元的上端，所述清洗单元包括清洗液管和与所述清洗液管连接的旋转喷头，所述干燥单元包括烘干组件和驱动所述烘干组件移动的驱动组件，所述夹持单元包括设置在硅片两端的夹持块，一侧夹持块的外部通过微型电动旋转器与移动组件连接，另一侧的夹持块与从动组件转动连接； 所述旋转喷头设置在滤板上，所述滤板的下端为集液槽，所述集液槽的下端设置有供液槽，所述供液槽内设置有清洗液管，所述清洗液管的一端通过电磁阀与抽泵连接，所述抽泵通过水管与外部清洗液存储罐连接，所述清洗液管的另一端穿过所述集液槽与所述旋转喷头通过旋转接头连接。
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