北京大学李佳康获国家专利权
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龙图腾网获悉北京大学申请的专利原位片上冲击拉伸强度在线检测系统及其制造方法及应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119492609B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411520229.8,技术领域涉及:G01N3/02;该发明授权原位片上冲击拉伸强度在线检测系统及其制造方法及应用是由李佳康;周佳伟;张大成;杨芳;王旭峰;陈艺;华璇卿;于志恒;麦倡源;苑世洋设计研发完成,并于2024-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本原位片上冲击拉伸强度在线检测系统及其制造方法及应用在说明书摘要公布了:本发明公开了原位片上冲击拉伸强度在线检测系统及其制造方法及应用,属于微电子机械系统加工技术领域,其中片上试验机包括:被测微梁、被冲击质量块、双锤头结构、一和二类探针加载结构、锁扣结构、锁齿结构、一至三类弹性悬挂折叠梁、弹性储能梁、弹性梁、动力栓和第一至第五固定锚点。本系统利用片上试验机与探针台相结合,提取被测微梁结构在受到冲击拉伸断裂时的断裂强度。通过本系统进行被测微梁的冲击拉伸强度在线检测,具有和宽量程和可重复性的优点,方法简单,不需要借助大型精密仪器及热驱加载及卸载机构。
本发明授权原位片上冲击拉伸强度在线检测系统及其制造方法及应用在权利要求书中公布了:1.一种原位片上冲击拉伸强度在线检测系统,其特征在于,包括:片上试验机和用于对片上试验机施加外部负载力的探针台;该片上试验机包括:被测微梁、被冲击质量块、双锤头结构、一和二类探针加载结构、锁扣结构、锁齿结构、一至三类弹性悬挂折叠梁、弹性储能梁、弹性梁、动力栓和第一至第五固定锚点,均关于竖向的中心轴线对称; 被测微梁的竖向两侧分别连接第一固定锚点和被冲击质量块,被冲击质量块的横向两侧通过两个一类弹性悬挂折叠梁连接于两个第二固定锚点; 双锤头结构的两个锥型锤头靠近被冲击质量块,一类探针加载结构位于两个锥型锤头之间,双锤头结构的横向两侧通过两个弹性储能梁连接两个第三固定锚点; 锁齿结构连接于双锤头结构的远离锥型锤头的一侧,锁齿结构的两侧分布两排一类锯齿; 锁扣结构包括横向对称的两部分,两部分之间留有容纳锁齿结构进出的空间,两部分的靠近锁齿结构的内侧位置设有与一类锯齿配合的两个二类锯齿,两部分的外侧通过两个二类弹性悬挂折叠梁连接于两个第四固定锚点,两部分的远离锁齿结构的竖向一侧通过两个弹性梁连接两个第五固定锚点; 动力栓的一端位于锁扣结构的两部分之间,另一端设有二类探针加载结构,动力栓的横向两侧通过两个三类弹性悬挂折叠梁连接两个第六固定锚点。
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