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龙图腾网获悉山西大学申请的专利一种二维角位移测量的外差干涉仪及测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119509415B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411636756.5，技术领域涉及：G01B11/26；该发明授权一种二维角位移测量的外差干涉仪及测量方法是由王雅君;贺子洋;陈力荣;郑耀辉;赵琴;袁利;王立;武延鹏;李天文设计研发完成，并于2024-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种二维角位移测量的外差干涉仪及测量方法在说明书摘要公布了：本发明涉及超精密测量技术领域，具体涉及一种二维角位移测量的外差干涉仪及测量方法，其中，外差干涉仪包括有双频激光光源，用于提供一束正交偏振的双频激光光束，其特征在于：在所述双频激光光源的输出光路上设置有消偏振分光棱镜，双频激光光束入射至消偏振分光棱镜后被分为第一双频光束和第二双频光束，两束双频光束分别进入平面干涉测量组和立面干涉测量组；本发明中每个维度的干涉光路均为两轴，避免了多轴测量方式中随着轴数的增加导致平行性降低引起测量误差的情况。同时，每个维度的两束光均为测量光，在提高分辨力的同时也可以抑制共模噪声，增强了系统的抗干扰能力。

本发明授权一种二维角位移测量的外差干涉仪及测量方法在权利要求书中公布了：1.一种二维角位移测量的外差干涉仪，包括有双频激光光源1，用于提供一束正交偏振的双频激光光束，其特征在于：在所述双频激光光源1的输出光路上设置有消偏振分光棱镜2，双频激光光束入射至消偏振分光棱镜2后被分为第一双频光束和第二双频光束，两束双频光束分别进入平面干涉测量组3和立面干涉测量组4； 所述平面干涉测量组3包括第一二分之一波片301、第一直角棱镜302和第一偏振分光棱镜303，第一二分之一波片301设置在消偏振分光棱镜2的一侧，第一双频光束依次经过第一二分之一波片301和第一直角棱镜302后进入第一偏振分光棱镜303，经过第一偏振分光棱镜303透射和反射后分别形成第一束测量光和第二束测量光，在第一束测量光的出射光路上设置有第一目标回射镜304，在第二束测量光的出射光路上设置有第二直角棱镜305、第二目标回射镜306，在第一偏振分光棱镜303的后端面上贴附有第一偏振片307，在第一偏振片307的出射光路上设置有第一光电探测器308，在第一偏振分光棱镜303的一侧设置有第二二分之一波片309，在第二二分之一波片309后设置有激光长度测量仪310； 所述立面干涉测量组4包括第三二分之一波片401和第二偏振分光棱镜402，第三二分之一波片401设置在消偏振分光棱镜2的一侧，第二双频光束经过第三二分之一波片401后进入第二偏振分光棱镜402，经过第二偏振分光棱镜402透射和反射后分别形成第三束测量光和第四束测量光，在第四束测量光的出射光路上依次设置有第三直角棱镜403和第三目标回射镜404，在第三束测量光的出射光路上依次设置有第四直角棱镜405、第五直角棱镜406、第四目标回射镜407，在第二偏振分光棱镜402的后端面上贴附有第二偏振片408，在第二偏振片408的出射光路上设置有第二光电探测器409； 所述第一目标回射镜304、第二目标回射镜306、第三目标回射镜404以及第四目标回射镜407均设置在旋转台5上，在旋转台5的两侧设置有水平转轴7，所述水平转轴7与中间转台8转动连接，所述中间转台8的上下两侧均设置有垂直转轴6，所述垂直转轴6与固定台9转动连接，所述垂直转轴6通过外接伺服电机为中间转台8提供垂直旋转动力，所述水平转轴7通过外接伺服电机为旋转台5提供水平旋转动力，所述第一目标回射镜304与第二目标回射镜306分布在靠近垂直转轴6的位置，所述第三目标回射镜404与第四目标回射镜407分布在靠近水平转轴7的位置，通过垂直转轴6和水平转轴7的配合，实现第一目标回射镜304、第二目标回射镜306、第三目标回射镜404以及第四目标回射镜407在三维空间内的角度调节。

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