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龙图腾网获悉中国科学院光电技术研究所申请的专利一种片上波导光栅天线相位误差检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119555226B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411013415.2，技术领域涉及：G01J9/02；该发明授权一种片上波导光栅天线相位误差检测方法是由杨旭;李枫;耿超;李新阳设计研发完成，并于2024-07-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种片上波导光栅天线相位误差检测方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种片上波导光栅天线相位误差检测方法，包括：对波导光栅天线近场进行放大，利用相机接收放大后的近场；通过倾斜入射的平面参考光对相机靶面照射，与波导光栅天线放大后的近场发生干涉，形成干涉图像，采集干涉图像；获取各波导光栅天线单元干涉图像的一维正弦干涉曲线，计算其周期，以及每个波导光栅天线单元干涉图像的一维正弦干涉曲线峰值间的差值，将差值除以周期再乘以波长即为各波导光栅天线单元之间相位误差的大小。根据本发明技术方案，可实现对波导光栅天线间相位误差的直接测量，弥补了现有技术中采用优化迭代算法对波导光栅天线远场进行间接相位误差检测和评估的不足。

本发明授权一种片上波导光栅天线相位误差检测方法在权利要求书中公布了：1.一种片上波导光栅天线相位误差检测方法，其特征在于，包括以下步骤： S110，利用4F光学系统对波导光栅天线近场进行放大，并利用相机对放大后的近场进行接收，其中，激光光源发出的光在到达4F光学系统之前，首先经由光纤输入到光纤分束器，光纤分束器将输入光分为两路：第一路光经过光纤到达耦合器，经由端面耦合或者光栅耦合输入到片上波导，并被片上分束器分为多路，经由波导光栅天线辐射到自由空间，辐射到自由空间的光经过由显微物镜和筒镜组成的4F系统； S120，通过倾斜入射的平面参考光对相机靶面进行照射，与波导光栅天线放大后的近场发生干涉，形成干涉图像，利用相机采集该干涉图像，其中倾斜入射的平面参考光的形成过程为：光纤分束器将输入光分为两路：第二路光经过光纤和准直透镜，形成平面参考光，平面参考光经过放置在筒镜后的分光镜反射后形成倾斜入射的平面参考光； S130，通过图像处理算法，获取各波导光栅天线单元干涉图像的一维正弦干涉曲线，计算一维正弦干涉曲线的周期，以及各波导光栅天线单元一维正弦干涉曲线峰值间的差值，将差值除以周期再乘以波长即为波导光栅天线单元之间相位误差的大小。

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