广东精瓷新材料有限公司陈闻杰获国家专利权
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龙图腾网获悉广东精瓷新材料有限公司申请的专利氧化铝和氮化铝的复合静电卡盘获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119560436B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411723772.8，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权氧化铝和氮化铝的复合静电卡盘是由陈闻杰;陈关亮;常鑫烽;李国明;李玉江设计研发完成，并于2024-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本氧化铝和氮化铝的复合静电卡盘在说明书摘要公布了：本发明公开一种氧化铝和氮化铝的复合静电卡盘，包括金属基座、氧化铝陶瓷结构件、氮化铝陶瓷介质层、加热层以及吸附电极层；该氧化铝陶瓷结构件包覆于金属基座外，该氮化铝陶瓷介质层包括有第一介电层、第二介电层和第三介电层。通过将氧化铝陶瓷结构件包覆于金属基座外，氧化铝陶瓷结构件具有耐高温、耐腐蚀和耐磨损的特性，能有效屏蔽等离子体对金属基座的侵蚀，同时不产生颗粒污染物污染晶圆；以及通过设置氮化铝陶瓷介质层，氮化铝陶瓷介质层具有优异的导热性能和温度均匀性，使复合静电卡盘在半导体加工过程中能够有效地控制温度，确保晶圆表面的温度均匀性，加工一致性好，从而提高加工精度和产品质量。
本发明授权氧化铝和氮化铝的复合静电卡盘在权利要求书中公布了：1.一种氧化铝和氮化铝的复合静电卡盘，其特征在于：包括金属基座、氧化铝陶瓷结构件、氮化铝陶瓷介质层、加热层以及吸附电极层；该氧化铝陶瓷结构件包覆于金属基座外，该氧化铝陶瓷结构件包括以下重量百分比原料Al2O385-90％、SiO22-5％、CeO22-5％、MgO2-5％；该氮化铝陶瓷介质层包括以下重量百分比原料AlN85-90％、CeO22-5％、YF32-5％、CaF22-5％、Y2O32-5％，该氮化铝陶瓷介质层包括有第一介电层、第二介电层和第三介电层，该第一介电层位于氮化铝陶瓷介质层最上方，其下布置有吸附电极层用于提供吸附电压，吸附电极层下方为第二介电层用于绝缘，该加热层位于第二介电层的下部用于进行工作过程的温度控制，加热层下部为第三介电层，用于绝缘屏蔽并与下部氧化铝陶瓷结构件连接。
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