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龙图腾网获悉北京大学申请的专利基于热驱的微梁弯曲强度在线检测系统、制造方法及应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119574337B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411567485.2，技术领域涉及：G01N3/20；该发明授权基于热驱的微梁弯曲强度在线检测系统、制造方法及应用是由李佳康;周佳伟;张大成;李婷;杨芳;王旭峰;陈艺;华璇卿;于志恒;苑世洋;麦倡源设计研发完成，并于2024-11-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于热驱的微梁弯曲强度在线检测系统、制造方法及应用在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于热驱的微梁弯曲强度在线检测系统、制造方法及应用，属于微电子机械系统领域。本在线检测系统包括片上试验机和片上被测试样，片上试验机主要包括热驱加载执行器、双梁隔热结构、V型放大杠杆、感兴趣区域定位标记结构和双锤头结构，片上被测试样主要包括刚性块状结构、弯曲测试梁和弹性悬挂折叠梁。本发明的片上试验机依靠自身的电阻梁发热进行能量加载和释放，能够实现上电后全自动的弯曲断裂强度在线检测及测试结果提取，可用来进行深刻蚀释放工艺的监控以及对于MEMS器件结构的可靠性预测。

本发明授权基于热驱的微梁弯曲强度在线检测系统、制造方法及应用在权利要求书中公布了：1.一种基于热驱的微梁弯曲强度在线检测系统，其特征在于，包括：片上试验机和片上被测试样； 该片上试验机包括：两个热驱加载执行器、两个双梁隔热结构、一个V型放大杠杆、一个感兴趣区域定位标记结构、一个双锤头结构以及两对第一固定锚点，均关于片上试验机的中线对称；热驱加载执行器由若干组平行的V型热驱梁构成，各组V型热驱梁的两端连接于一对第一固定锚点，各组V型热驱梁的中间拐角处彼此相连；双梁隔热结构的一端连接V型热驱梁的中间拐角处内侧，另一端连接V型放大杠杆的一端；感兴趣区域定位标记结构的一侧连接V型放大杠杆的中间部位，另一侧连接双锤头结构；双锤头结构包括两个锥型锤头； 该片上被测试样包括：两个刚性块状结构、一个弯曲测试梁、两个弹性悬挂折叠梁以及两个第三固定锚点、两个第四固定锚点，均关于片上被测试样的中线对称；弯曲测试梁的两端连接两个刚性块状结构，并与双锤头结构相对；两个第三固定锚点位于弯曲测试梁的远离双锤头结构的一侧且留有间隔，并位于两个锥型锤头的中间位置；弹性悬挂折叠梁的一端与刚性块状结构连接，另一端连接于第四固定锚点。

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