张江国家实验室熊诗圣获国家专利权
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龙图腾网获悉张江国家实验室申请的专利一种用于导向自组装版图拆分的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119575747B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411643282.7,技术领域涉及:G03F1/38;该发明授权一种用于导向自组装版图拆分的方法是由熊诗圣;冯宇;李鑫亮;刘佳琦;曾维轩设计研发完成,并于2024-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于导向自组装版图拆分的方法在说明书摘要公布了:本申请公开了一种用于导向自组装版图拆分的方法。该方法可包括以下步骤:获取要形成的半导体特征结构的位置信息;根据导向自组装工艺能力确定的冲突规则和半导体特征结构之间的距离构建冲突关系;基于冲突关系,通过分配引导模版来组合所有符合导向自组装工艺规则的半导体特征结构;根据引导模版的分配,重构冲突关系;将存在冲突的引导模版塌缩成一个点以继承涉及存在冲突的引导模版的所有冲突关系,从而得到新的冲突关系;根据新的冲突关系,利用贪心染色算法进行染色;以及基于染色的结果拆分版图。
本发明授权一种用于导向自组装版图拆分的方法在权利要求书中公布了:1.一种用于导向自组装版图拆分的方法,包括: 获取要形成的半导体特征结构的位置信息; 根据导向自组装工艺能力确定的冲突规则和半导体特征结构之间的距离构建冲突关系; 基于所述冲突关系,通过分配引导模版来组合所有符合导向自组装工艺规则的半导体特征结构; 根据所述引导模版的分配,重构所述冲突关系; 将存在冲突的引导模版塌缩成一个点以继承涉及所述存在冲突的引导模版的所有冲突关系,从而得到新的冲突关系; 根据所述新的冲突关系,利用贪心染色算法进行染色;以及 基于染色的结果拆分版图。
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