中国科学院半导体研究所林学春获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院半导体研究所申请的专利单空间光调制器对两类激光波前进行同步调制装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119602063B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411665398.0,技术领域涉及:H01S3/094;该发明授权单空间光调制器对两类激光波前进行同步调制装置及方法是由林学春;杜家宝;赵树森;卢晓煜;于海娟;何超建设计研发完成,并于2024-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本单空间光调制器对两类激光波前进行同步调制装置及方法在说明书摘要公布了:本申请提出一种单空间光调制器对两类激光波前进行同步调制装置及方法,包括:光传输模块将水平偏振的第一激光和垂直偏振的第二激光时序匹配及合束,形成复合光束;调制模块依次对复合光束的水平偏振分量和垂直偏振分量进行波前调制,生成并传输调制光束,由光传输模块对调制光束进行聚焦,形成加工光束。通过将水平偏振的第一激光和垂直偏振的第二激光时序匹配及合束,形成复合光束,进而依次对复合光束的水平偏振分量和垂直偏振分量进行波前调制,生成用于深加工的调制光束,极大地降低第一激光和第二激光在空间位置上相对分布的调整难度,使第一激光和第二激光能够对目标位置进行同步加工,最大限度地降低激光加工设备的复杂度,且显著提升加工效率。
本发明授权单空间光调制器对两类激光波前进行同步调制装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种单空间光调制器对两类激光波前进行同步调制装置,其特征在于,包括: 光传输模块,所述光传输模块将水平偏振的第一激光和垂直偏振的第二激光时序匹配及合束,形成复合光束;并对调制光束进行聚焦,形成加工光束; 调制模块,所述调制模块依次对所述复合光束的水平偏振分量和垂直偏振分量进行波前调制,生成所述调制光束; 其中,所述调制模块包括相位型液晶空间光调制器、4F透镜组、反射棱镜及12波片,其中,所述相位型液晶空间光调制器接收所述复合光束,对所述复合光束的水平偏振分量进行波前调制;所述4F透镜组与所述相位型液晶空间光调制器光连接;所述反射棱镜与所述4F透镜组光连接;所述12波片与所述4F透镜组及所述相位型液晶空间光调制器光连接,对所述复合光束的垂直偏振分量进行旋转90度操作,由所述相位型液晶空间光调制器对经过旋转的垂直偏振分量进行波前调制; 其中,所述相位型液晶空间光调制器依次完成对所述水平偏振分量和所述垂直偏振分量的波前调制后,生成所述调制光束。
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