深圳市捷佳芯创科技有限责任公司张勇获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市捷佳芯创科技有限责任公司申请的专利N型太阳能电池及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120475806B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510967830.X,技术领域涉及:H10F71/00;该发明授权N型太阳能电池及其制备方法是由张勇;朱敏;王晨光;向阳;陈淳才设计研发完成,并于2025-07-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本N型太阳能电池及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种N型太阳能电池及其制备方法,其中N型太阳能电池的制备方法包括正面钝化工序和正面减反射膜工序,在正面钝化工序中的制备氧化铝ALD膜层结构步骤前的炉内抽真空步骤后,增加生长羟基基团步骤的循环,循环轮数1‑20轮,每轮生长羟基基团步骤包括:将炉内温度控制在150‑300摄氏度,通入5000‑50000sccm的氮气、50‑3000sccm的水蒸气,并恒定至50‑3500mtorr的压力至对应时长;向炉内吹扫5000‑50000sccm的氮气进行清洗后抽真空,开始下一步循环,直至达到循环轮数。本发明能够改善太阳能电池的抗紫外线能力。
本发明授权N型太阳能电池及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种N型太阳能电池的制备方法,包括正面钝化工序和正面减反射膜工序,其特征在于,在所述正面钝化工序中的制备氧化铝ALD膜层结构步骤前的炉内抽真空步骤后,增加生长羟基基团步骤的循环,循环轮数1-20轮,每轮生长羟基基团步骤包括: 将炉内温度控制在150-300摄氏度,通入5000-50000sccm的氮气、50-3000sccm的水蒸气,并恒定至50-3500mtorr的压力至对应时长; 向炉内吹扫5000-50000sccm的氮气进行清洗后抽真空,开始下一步循环,直至达到循环轮数; 所述制备氧化铝ALD膜层结构步骤具有多轮循环,每轮制备氧化铝ALD膜层结构步骤包括: 在上一工序抽真空后,将炉内温度控制在150-300摄氏度,通入5000-50000sccm的氮气,并恒定至500-3500mtorr的压力至对应时长; 将炉内温度控制在150-300摄氏度,向炉内通入5000-50000sccm的氮气、500-3000sccm的水蒸气,并恒定至500-3500mtorr的压力至对应时长,以完成通入含氧前驱体步骤; 向炉内吹扫10000-30000sccm的氮气15s以上后,将炉内抽真空; 将炉内温度控制在150-300摄氏度,向炉内通入5000-50000sccm的氮气、500-5000sccm的TMA气体,并恒定至500-3500mtorr的压力至对应时长,以完成通入含铝前驱体步骤;向炉内吹扫5000-50000sccm的氮气15s以上后,将炉内抽真空,开始下一轮循环,直至达到循环轮数; 每轮制备氧化铝ALD膜层结构步骤中的通入含氧前驱体步骤和通入含铝前驱体步骤的执行顺序可互换。
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