买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉爱利彼半导体设备(上海)有限公司申请的专利一种半导体加热盘形变检测装置及检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120576713B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511076975.7，技术领域涉及：G01B21/32；该发明授权一种半导体加热盘形变检测装置及检测方法是由杨胜杰;郭高朋设计研发完成，并于2025-08-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体加热盘形变检测装置及检测方法在说明书摘要公布了：本发明涉及表面形变检测设备技术领域，具体是涉及一种半导体加热盘形变检测装置及检测方法，包括平台和检测单元；平台为圆形结构，在平台上沿平台的径向方向开设有两个夹持槽，两个夹持槽所连直线经过平台的圆心，且两个夹持槽关于平台的圆心对称，检测单元包括设置在平台上对加热盘进行定位的定位单元，每个夹持槽内都设置有一个夹持块，夹持块沿夹持槽的延伸方向与夹持槽滑动配合，在夹持块的上部竖直转动设置有对加热盘进行夹持的夹持辊，在每个夹持槽远离平台圆心的一端上都水平设置有一个第一测距仪，第一测距仪的检测端水平朝向夹持块，在平台的上部设置有转动单元。本发明提高了检测精度，同时也提高了检测效率。

本发明授权一种半导体加热盘形变检测装置及检测方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体加热盘形变检测装置，包括平台1和设置在平台1上的检测单元2； 其特征在于，平台1为圆形结构，在平台1上沿平台1的径向方向开设有两个夹持槽11，两个夹持槽11所连直线经过平台1的圆心，且两个夹持槽11关于平台1的圆心对称，检测单元2包括设置在平台1上对加热盘4进行定位的定位单元24，每个夹持槽11内都设置有一个夹持块21，夹持块21沿夹持槽11的延伸方向与夹持槽11滑动配合，在夹持块21的上部竖直转动设置有对加热盘4进行夹持的夹持辊22，在每个夹持槽11远离平台1圆心的一端上都水平设置有一个第一测距仪23，第一测距仪23的检测端水平朝向夹持块21，在平台1的上部设置有转动单元3，检测时，两个夹持块21相互靠近并通过两个夹持辊22将加热盘4的外周夹持，转动单元3带动加热盘4转动； 在夹持块21朝向平台1圆形的一侧设置有拉动夹持块21在夹持槽11内移动的拉动单元25，拉动单元25包括转动设置在夹持槽11靠近平台1圆心一端的转动轮251，在转动轮251的下部沿竖直方向移动设置有重物253，在重物253和夹持块21之间设置有将二者连接的拉绳252，拉绳252从转动轮251的上部绕设； 在夹持槽11远离平台1圆心的一端上还设置有收卷器256，收卷器256内绕设有牵引绳257，牵引绳257的一端从收卷器256内引出并与夹持块21固定连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人爱利彼半导体设备(上海)有限公司，其通讯地址为：200120 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区两港大道6288号1幢1层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。