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龙图腾网获悉航菱微(泰州)科技有限公司申请的专利一种具有清洗液过滤功能的半导体晶圆清洗设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120618937B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511149913.4，技术领域涉及：B08B3/02；该发明授权一种具有清洗液过滤功能的半导体晶圆清洗设备是由何平;沈建宇;魏岩岩设计研发完成，并于2025-08-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种具有清洗液过滤功能的半导体晶圆清洗设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种具有清洗液过滤功能的半导体晶圆清洗设备，本发明涉及晶圆清洗装置技术领域，该清洗设备包括柜体、电动转盘、卡盘机械臂、喷淋器、清洗机构和控制面板，电动转盘与柜体转动连接，清洗机构包括箱体，卡盘机械臂、喷淋器、箱体、控制面板均与柜体固定连接，电动转盘、卡盘机械臂、喷淋器、清洗机构均与控制面板通过电信号连接；本发明结合干法湿法多级清洗晶圆，对清洗液过滤自清洁，控制清洗液的流动方向对多片晶圆间隙进行深度清理，大幅提升晶圆的清洁效率。

本发明授权一种具有清洗液过滤功能的半导体晶圆清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种具有清洗液过滤功能的半导体晶圆清洗设备，其特征在于：所述清洗设备包括柜体1、电动转盘2、卡盘机械臂3、喷淋器4、清洗机构5和控制面板6，所述电动转盘2与柜体1转动连接，所述清洗机构5包括箱体51，所述卡盘机械臂3、喷淋器4、箱体51、控制面板6均与柜体1固定连接，所述电动转盘2、卡盘机械臂3、喷淋器4、清洗机构5均与控制面板6通过电信号连接； 所述清洗机构5还包括搬运机构52、槽洗机构53、喷液机构54、调流机构55和烘干池56，所述槽洗机构53包括清洗池531，所述喷液机构54包括三岔管541和壳体543，所述调流机构55包括外壳551，所述清洗池531上设有进液孔5311，所述三岔管541与进液孔5311固定连接，所述壳体543与清洗池531固定连接； 所述槽洗机构53还包括循环泵532、过滤器533和超声波仪534，所述清洗池531上还设有排液孔5312，所述循环泵532、过滤器533、超声波仪534均与清洗池531固定连接，所述循环泵532与排液孔5312、过滤器533均通过管道连接，所述过滤器533与三岔管541通过管道连接，所述循环泵532、过滤器533、超声波仪534均与控制面板6通过电信号连接； 所述喷液机构54还包括喷液管542、第二齿轮杆546和第一电机547，所述喷液管542设有两组，两组所述喷液管542分别设于三岔管541远离过滤器533两端，所述喷液管542与三岔管541转动连接，一组所述喷液管542与第二齿轮杆546固定连接，另一组所述喷液管542与第一电机547输出端固定连接，所述喷液管542上设有喷头5421，所述喷头5421设有若干组，若干组所述喷头5421均沿喷液管542轴线线性均布； 所述调流机构55还包括扇板552和主风机553，所述主风机553与外壳551固定连接，所述外壳551上设有转孔5511，所述扇板552上设有转轴齿轮杆5521，所述转轴齿轮杆5521与转孔5511转动连接，所述扇板552设有若干组，若干组所述扇板552均沿外壳551线性均布； 所述调流机构55还包括第二电机554、摇臂连杆555和内齿框556，所述第二电机554与外壳551固定连接，所述第二电机554输出端与摇臂连杆555固定连接，所述内齿框556上设有铰接扣5561，所述摇臂连杆555与铰接扣5561铰接，所述内齿框556与转轴齿轮杆5521齿面啮合，所述外壳551上还设有滑轨5512，所述内齿框556与滑轨5512滑动连接，所述主风机553、第二电机554均与控制面板6通过电信号连接； 卡盘机械臂3搬运单片晶圆至电动转盘2上吸附，通过喷淋器4对单片晶圆喷淋化学气相进行干法清洗； 主风机553驱动，向清洗池531内的清洗液曝气，若干组沿外壳551线性均布的扇板552高频往复转动，使主风机553输出的气流扰动。

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