宁波冠石半导体有限公司高丁山获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波冠石半导体有限公司申请的专利一种光掩模保护膜拆卸装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223431561U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422639899.3，技术领域涉及：B25B27/00；该实用新型一种光掩模保护膜拆卸装置是由高丁山设计研发完成，并于2024-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光掩模保护膜拆卸装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种光掩模保护膜拆卸装置，包括置物台，置物台上固定有限位件、拆卸组件、第一温度传感器；置物台上表面上涂覆铁氟龙涂层；置物台内安装冷却装置用于将置物台的上表面的温度维持在5℃～10℃，使得光掩模版与光掩模保护膜之间的胶粘剂硬化以便后续分析光掩模保护膜。利用本实用新型设计的一种光掩模保护膜拆卸装置，能够解决使用加热法拆除容易导致胶粘剂喷溅，污染光掩模版表面，并在清洗时可能引起雾斑，影响光掩模版的清洁度和精度；直接工具拆除极易造成损坏，导致成本增加、光掩模版寿命缩短的问题。
本实用新型一种光掩模保护膜拆卸装置在权利要求书中公布了：1.一种光掩模保护膜拆卸装置，其特征在于，包括置物台，所述置物台的上表面固定有限位件，所述限位件用于将光掩模版固定在所述置物台的上表面；所述置物台的上表面上涂覆有铁氟龙涂层；所述置物台的上表面还固定有拆卸组件，当所述光掩模版固定在所述置物台上时所述拆卸组件用于分离粘接于所述光掩模版上表面的光掩模保护膜；所述置物台的上表面还固定有第一温度传感器；所述置物台内安装有冷却装置，所述冷却装置包括水管，当所述水管通水后用于将所述置物台的上表面的温度维持在5℃～10℃；所述水管的进水口位于所述置物台的一侧，所述水管的出水口位于与所述进水口相对的另一侧；所述水管靠近所述进水口的一端气密性连接有第一流量电控阀，所述水管靠近所述出水口的一端气密性连接有第二流量电控阀。
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