深圳市捷佳芯创科技有限责任公司籍龙占获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市捷佳芯创科技有限责任公司申请的专利一种多丝共熔蒸发舟及应用其的真空镀膜设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223433527U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422877957.6,技术领域涉及:C23C14/26;该实用新型一种多丝共熔蒸发舟及应用其的真空镀膜设备是由籍龙占;许红强;程培勇;安祥乐;陈丙挥;赵步举设计研发完成,并于2024-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多丝共熔蒸发舟及应用其的真空镀膜设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种多丝共熔蒸发舟及应用其的真空镀膜设备,其中多丝共熔蒸发舟包括舟体;一对夹持端,分别设于舟体相对两端;蒸发池,凹设于舟体顶部,其包括交替排布、依次连通的若干蒸发区和熔丝区,熔丝区用于将蒸镀材料加热至熔融状态并在之后参与蒸发,蒸发区用于承载并蒸发处于熔融状态的蒸镀材料。本实用新型提供的多丝共熔蒸发舟布置多个蒸发区和熔丝区,各熔丝区均通过送丝机构分别送丝,实现多点送丝提升送丝量、蒸镀材料蒸发量、基板镀层厚度和产能;蒸发区、熔丝区相邻布置提升蒸镀均匀性;舟体熔丝区处宽度小于蒸发区使熔丝区电阻增大、发热功率提升,补偿熔丝消耗热能,提升温度均匀性,避免蒸镀材料融化后堆积造成金属液滴飞溅。
本实用新型一种多丝共熔蒸发舟及应用其的真空镀膜设备在权利要求书中公布了:1.一种多丝共熔蒸发舟,其特征在于,包括: 舟体1; 一对夹持端11,分别对应设置于所述舟体1的相对两端; 蒸发池12,凹陷设置于所述舟体1的顶部,所述蒸发池12包括交替排布、依次连通的若干蒸发区121和熔丝区122,所述熔丝区122用于将蒸镀材料加热至熔融状态并在之后参与蒸发,所述蒸发区121用于承载并蒸发处于熔融状态的所述蒸镀材料。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳市捷佳芯创科技有限责任公司,其通讯地址为:518000 广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东路62号1栋捷佳伟创坪山产业园厂房五层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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