三星显示有限公司成箕运获国家专利权
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龙图腾网获悉三星显示有限公司申请的专利溅射设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223433528U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422537084.4,技术领域涉及:C23C14/34;该实用新型溅射设备是由成箕运;许明洙;姜南旭;朴进修;梁成揆;柳斗善;李侑钟;李正日设计研发完成,并于2024-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本溅射设备在说明书摘要公布了:一种溅射设备,包括:室;靶,设置在所述室内部;盘管,设置为与所述靶相邻;移动构件,所述盘管设置在所述移动构件上,其中所述移动构件被配置以调节所述盘管的位置;以及盘管屏蔽件,设置在所述室内部以与所述盘管的至少一部分重叠。开口被限定在所述盘管屏蔽件中。
本实用新型溅射设备在权利要求书中公布了:1.一种溅射设备,其特征在于,所述溅射设备包括: 室; 靶,设置在所述室内部; 盘管,设置为与所述靶相邻; 移动构件,所述盘管设置在所述移动构件上,其中所述移动构件被配置以调节所述盘管的位置;以及 盘管屏蔽件,设置在所述室内部以与所述盘管的至少一部分重叠, 其中开口被限定在所述盘管屏蔽件中。
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