合肥晶合集成电路股份有限公司陈正获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利一种偏心校准治具及电镀设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223435608U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423122619.8,技术领域涉及:G01B21/24;该实用新型一种偏心校准治具及电镀设备是由陈正;陈锦;王洋;王玉杰设计研发完成,并于2024-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种偏心校准治具及电镀设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种偏心校准治具及电镀设备,属于半导体技术领域,所述偏心校准治具至少包括:固定基座,放置在待校准结构上;多个连接杆,设置在所述固定基座的同一侧,且多个所述连接杆等距分布;以及测距仪,设置在每个所述连接杆远离所述固定基座的一端上,以测量所述待校准结构和参考结构之间的垂直距离。通过本实用新型提供的偏心校准治具,能够提高偏心校准结果的精确性和客观性,且减少校准过程的用时,提高设备的稼动率。
本实用新型一种偏心校准治具及电镀设备在权利要求书中公布了:1.一种偏心校准治具,其特征在于,至少包括: 固定基座,放置在待校准结构上; 多个连接杆,设置在所述固定基座的同一侧,且多个所述连接杆等距分布;以及 测距仪,设置在每个所述连接杆远离所述固定基座的一端上,以测量所述待校准结构和参考结构的垂直距离。
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