扬州扬杰电子科技股份有限公司唐红梅获国家专利权
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龙图腾网获悉扬州扬杰电子科技股份有限公司申请的专利一种晶圆加工用涂胶装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223436191U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423084010.6，技术领域涉及：G03F7/16；该实用新型一种晶圆加工用涂胶装置是由唐红梅;张晓勇;王毅设计研发完成，并于2024-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆加工用涂胶装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆加工用涂胶装置，包括：涂料组件，所述涂料组件包括旋转吸附台、C形板、涂胶头以及圆形卡槽；气泡消除组件，所述气泡消除组件包括锥形筒、轴杆、第一搅拌杆、第二搅拌杆、第三搅拌杆以及承接杆，所述C形板顶部固定连接承接杆一端，所述承接杆另一端固定连接锥形筒，所述锥形筒中活动连接轴杆，所述轴杆侧部活动连接第一搅拌杆、第二搅拌杆以及第三搅拌杆。本实用新型能够实现对锥形筒内部的光刻胶进行搅拌，使光刻胶中气泡均匀地上升并逸出，有效防止在晶圆表面形成缺陷，且锥形筒能够更好地配合不同长度的第一搅拌杆、第二搅拌杆以及第三搅拌杆旋转，使光刻胶在容器内形成更有利于气泡上升的螺旋式流动路径。
本实用新型一种晶圆加工用涂胶装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加工用涂胶装置，其特征在于，包括： 涂料组件，所述涂料组件包括旋转吸附台101、C形板102、涂胶头103以及圆形卡槽104，所述旋转吸附台101后部固定连接C形板102一端，所述C形板102上贯穿开设圆形卡槽104，所述圆形卡槽104中活动连接涂胶头103； 气泡消除组件，所述气泡消除组件包括锥形筒201、轴杆202、第一搅拌杆203、第二搅拌杆204、第三搅拌杆205以及承接杆2012，所述C形板102顶部固定连接承接杆2012一端，所述承接杆2012另一端固定连接锥形筒201，所述锥形筒201中活动连接轴杆202，所述轴杆202侧部活动连接第一搅拌杆203、第二搅拌杆204以及第三搅拌杆205。
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