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天津大学;诺思(天津)微系统有限责任公司杨清瑞获国家专利权

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龙图腾网获悉天津大学;诺思(天津)微系统有限责任公司申请的专利设置有插入结构与温补层的体声波谐振器、滤波器和电子设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111313857B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201911197914.0,技术领域涉及:H03H9/02;该发明授权设置有插入结构与温补层的体声波谐振器、滤波器和电子设备是由杨清瑞;庞慰;张孟伦设计研发完成,并于2019-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。

设置有插入结构与温补层的体声波谐振器、滤波器和电子设备在说明书摘要公布了:本发明涉及体声波谐振器,包括:基底;声学镜;底电极;顶电极;压电层,温补层,其中:声学镜、底电极、压电层、顶电极在基底的厚度方向重叠的区域为谐振器的有效区域;压电层中设置有沿有效区域的边缘布置的复合插入结构,复合插入结构包括第一插入层和第二插入层,在谐振器的俯视图中,第一插入层的至少一部分与所述有效区域重叠,且在谐振器的俯视图中,第一插入层与第二插入层至少部分重叠;第一插入层为金属材料且第二插入层为空气或介质材料,或者第一插入层为介质材料且第二插入层为空气,在谐振器的俯视图中,温补层的至少一部分位于有效区域内,且温补层的材料为与压电层频率温度系数相反的材料。本发明还涉及滤波器与电子设备。

本发明授权设置有插入结构与温补层的体声波谐振器、滤波器和电子设备在权利要求书中公布了:1.一种体声波谐振器,包括: 基底; 声学镜; 底电极; 顶电极; 压电层; 温补层, 其中: 声学镜、底电极、压电层、顶电极在基底的厚度方向重叠的区域为谐振器的有效区域; 所述压电层中设置有沿所述有效区域的边缘布置的复合插入结构,所述复合插入结构包括第一插入层和第二插入层,在所述谐振器的俯视图中,所述第一插入层的至少一部分与所述有效区域重叠,且在所述谐振器的俯视图中,所述第一插入层与所述第二插入层至少部分重叠,所述第一插入层为金属材料且所述第二插入层为空气或介质材料,或者所述第一插入层为介质材料且所述第二插入层为空气;所述复合插入结构的中心水平线在厚度方向上位于所述压电层的三等分线之间; 在所述谐振器的俯视图中,所述温补层的至少一部分位于所述有效区域内,且所述温补层的材料为与压电层频率温度系数相反的材料;且 所述复合插入结构在有效区域的外侧形成有插入台阶面,所述压电层的处于所述复合插入结构上方的部分的上表面基于所述插入台阶面而形成有压电层台阶面;或者在顶电极的非连接边,所述复合插入结构形成有插入台阶面,所述压电层的处于所述复合插入结构上方的部分的上表面基于所述插入台阶面而形成有压电层台阶面; 所述温补层位于压电层中,所述谐振器还包括设置在所述温补层下方的截止层、设置在温补层上方包覆温补层的钝化层、包覆金属层,在平行于谐振器的厚度方向的一个截面中,所述钝化层与所述截止层围住所述温补层,所述包覆金属层包覆所述钝化层与所述截止层。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人天津大学;诺思(天津)微系统有限责任公司,其通讯地址为:300072 天津市南开区卫津路92号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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