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龙图腾网获悉株式会社迪思科申请的专利旋转清洗装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111564385B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010079693.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权旋转清洗装置是由前岛信;大波豪;中塚敦设计研发完成，并于2020-02-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本旋转清洗装置在说明书摘要公布了：提供旋转清洗装置，其确保干燥的被清洗物不会再次沾湿。旋转清洗装置1具有：能够水平移动的喷嘴60，其喷射清洗水与空气的混合液；飞散防止罩5，其围绕工作台30，以便使欲从旋转的工作台飞散的混合液向下方流动；以及单元16，其使防止罩升降。防止罩包含：环状的围绕板51，其形成为剖面从能够供工作台通过的开口50呈逐渐展开状倾斜；侧板52，其包围围绕板，在工作台升降方向上延伸；以及上板53，其将侧板和围绕板连接，该旋转清洗装置还具有飞散防止部7，在从喷嘴喷射空气而使清洗后的被清洗物外周缘Wd干燥时，为了使上板的上表面上所积存的水不飞溅，该飞散防止部使空气的势力不作用于上板的上表面上所积存的水。

本发明授权旋转清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种旋转清洗装置，其具有： 旋转工作台，其具有对被清洗物进行保持的保持面； 旋转单元，其使该旋转工作台旋转； 清洗喷嘴，其对该旋转工作台所保持的被清洗物喷射清洗水与空气的混合液； 水平移动单元，其使该清洗喷嘴在该旋转工作台的上方水平移动； 飞散防止罩，其围绕该旋转工作台，以便因对该清洗喷嘴喷射到被清洗物的混合液赋予该旋转工作台旋转所带来的离心力而使欲从该旋转工作台呈放射状飞散的混合液向下方流动；以及 升降单元，其使该飞散防止罩沿着使该旋转工作台旋转的旋转轴的轴向进行升降， 其中， 该飞散防止罩具有： 开口，其能够供该旋转工作台通过； 环状的围绕板，其形成为从该开口起剖面呈逐渐扩展状倾斜； 侧板，其包围该围绕板，在该旋转工作台的升降方向上延伸；以及 上板，其将该侧板和该围绕板的下端连接， 该旋转清洗装置还具有飞散防止部， 在将该开口定位于比该旋转工作台所保持的被清洗物的上表面靠上的位置、从该清洗喷嘴喷射该混合液而对被清洗物进行清洗、然后从该清洗喷嘴喷射空气而使被清洗物干燥的一系列的清洗干燥动作中， 在该清洗后从该清洗喷嘴喷射空气而使被清洗物的外周缘干燥时，为了使该飞散防止罩的该上板的上表面上所积存的水不飞溅，所述飞散防止部使从该清洗喷嘴喷射的空气的势力不作用于该上板的上表面上所积存的水。

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