株式会社迪思科杉山智瑛获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社迪思科申请的专利检查装置和加工装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111834243B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010278411.2,技术领域涉及:H01L21/66;该发明授权检查装置和加工装置是由杉山智瑛;香西宏彦;森川直树设计研发完成,并于2020-04-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本检查装置和加工装置在说明书摘要公布了:提供检查装置和加工装置。检查装置对粘贴有带并借助带而安装于框架的被检查物进行检查,检查装置具有:被检查物保持机构,其具有载置部,该载置部具有上下露出的透明体,透明体的上表面成为隔着带而载置被检查物的载置面,被检查物保持机构能够对载置于载置面的被检查物进行保持;拍摄机构,其具有配设于载置部的上方的第1拍摄单元、配设于载置部的下方的第2拍摄单元以及将第1拍摄单元和第2拍摄单元连结的连结部,拍摄机构能够通过第1拍摄单元从上表面侧拍摄载置于该载置部的该载置面而保持于该被检查物保持机构的被检查物,并通过第2拍摄单元从下表面侧拍摄被检查物,拍摄机构能够拍摄被检查物的上表面侧和下表面侧的同一位置。
本发明授权检查装置和加工装置在权利要求书中公布了:1.一种检查装置,其对粘贴有带并借助该带而安装于框架的被检查物进行检查,其特征在于, 该检查装置具有: 被检查物保持机构,其具有载置部,该载置部具有上下露出的透明体,该透明体的上表面成为隔着该带而载置该被检查物的载置面,该被检查物保持机构能够对载置于该载置面的该被检查物进行保持; 拍摄机构,其具有配设于该载置部的上方的第1拍摄单元、配设于该载置部的下方的第2拍摄单元以及将该第1拍摄单元和该第2拍摄单元连结的连结部;以及 移动单元,其能够使该拍摄机构相对于该载置部在与该载置面平行的方向上相对地移动, 该拍摄机构能够通过该第1拍摄单元从上表面侧对载置于该载置部的该载置面而被保持于该被检查物保持机构的被检查物进行拍摄,并且能够通过该第2拍摄单元从下表面侧对该被检查物进行拍摄, 该拍摄机构能够对该被检查物的该上表面侧和该下表面侧的任意的同一位置同时进行拍摄。
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