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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利液处理装置和液处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112185845B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010571224.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权液处理装置和液处理方法是由信国力;尾嶋智明;板桥拓也;堀口亮一;若山翔太设计研发完成，并于2020-06-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本液处理装置和液处理方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种液处理装置，其包括罐、循环通路、泵、多个液处理部和多个供给通路，循环通路具有设有泵的主通路部分和从主通路部分分支的第一分支通路部分和第二分支通路部分，从罐流出的处理液在通过主通路部分后流入各分支通路部分，并通过各分支通路部分返回罐，多个液处理部被划分为第一处理部组和第二处理部组，多个供给通路被划分为第一通路组和第二通路组，属于第一处理部组的液处理部分别经由属于第一通路组的供给通路连接于第一分支通路部分，属于第二处理部组的液处理部分别经由属于第二通路组的供给通路连接于第二分支通路部分。根据本发明，能够减少液处理装置的处理液供给机构的部件数量。

本发明授权液处理装置和液处理方法在权利要求书中公布了：1.一种液处理装置，其特征在于，包括： 贮存从处理液供给部供给来的处理液的罐； 与所述罐连接的循环通路； 设置于所述循环通路的泵； 能够对基片进行液处理的多个液处理部；和 用于向所述多个液处理部分别供给处理液的多个供给通路， 所述循环通路具有：设置有所述泵的主通路部分；以及从所述主通路部分分支的第一分支通路部分和第二分支通路部分，从所述罐流出的处理液在通过所述主通路部分之后流入所述第一分支通路部分和所述第二分支通路部分，并通过所述第一分支通路部分和所述第二分支通路部返回所述罐， 所述多个液处理部被划分为包含多个液处理部的第一处理部组和包含多个液处理部的第二处理部组， 所述多个供给通路被划分为包含多个供给通路的第一通路组和包含多个供给通路的第二通路组， 属于所述第一处理部组的液处理部分别经由属于所述第一通路组的供给通路与所述第一分支通路部分连接， 属于所述第二处理部组的液处理部分别经由属于所述第二通路组的供给通路与所述第二分支通路部分连接， 所述液处理装置还包括： 设置于所述第一分支通路部分的第一开关阀； 设置于所述第二分支通路部分的第二开关阀；和 控制部， 所述控制部构成为能够控制所述第一开关阀和所述第二开关阀，使得在所述液处理装置启动时，所述处理液仅在所述第一分支通路部分中流动，之后使所述处理液仅在所述第二分支通路部分中流动，之后使所述处理液在所述第一分支通路部分和所述第二分支通路部分这二者中流动。

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