株式会社迪思科柿沼良典获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社迪思科申请的专利保护部件形成方法和保护部件形成装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112349606B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010782702.5,技术领域涉及:H01L21/56;该发明授权保护部件形成方法和保护部件形成装置是由柿沼良典设计研发完成,并于2020-08-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本保护部件形成方法和保护部件形成装置在说明书摘要公布了:提供保护部件形成方法和保护部件形成装置,在正面具有凹凸的基板的正面上形成包含硬化的液状树脂的保护部件时,抑制液状树脂的不均的产生。在正面具有凹凸的基板的正面上形成保护部件的保护部件形成方法具有如下的步骤:树脂膜密接步骤,利用树脂膜覆盖基板的正面,使树脂膜以仿照基板的正面的凹凸的方式与基板密接;液状树脂提供步骤,向与基板密接的树脂膜的上表面的与基板重叠的区域提供能够硬化的液状树脂;按压步骤,隔着覆盖膜而利用平坦的按压面按压液状树脂,使液状树脂在树脂膜上扩展;以及硬化步骤,使在按压步骤中在树脂膜上扩展的液状树脂硬化,从而在基板的正面上形成包含树脂膜、硬化后的液状树脂以及覆盖膜的保护部件。
本发明授权保护部件形成方法和保护部件形成装置在权利要求书中公布了:1.一种保护部件形成方法,在正面具有凹凸的基板的该正面上形成保护部件,其特征在于, 该保护部件形成方法具有如下的步骤: 树脂膜密接步骤,利用树脂膜覆盖该基板的该正面,使该树脂膜以仿照该基板的该正面的该凹凸的方式与该基板密接; 液状树脂提供步骤,向与该基板密接的该树脂膜的上表面的与该基板重叠的区域提供能够硬化的液状树脂; 按压步骤,利用覆盖膜覆盖被提供到该树脂膜的该上表面的该液状树脂,隔着该覆盖膜而利用平坦的按压面从上方下降来按压该液状树脂,使该液状树脂在该树脂膜上扩展;以及 硬化步骤,使在该按压步骤中在该树脂膜上扩展的该液状树脂硬化,从而在该基板的该正面上形成包含该树脂膜、硬化后的该液状树脂以及该覆盖膜的保护部件。
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