株式会社迪思科柿沼良典获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社迪思科申请的专利晶片搬送装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112397427B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010788583.4,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权晶片搬送装置是由柿沼良典设计研发完成,并于2020-08-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶片搬送装置在说明书摘要公布了:本发明提供晶片搬送装置,其能够在利用晶片搬送装置保持着晶片的状态下进行晶片的定位。该晶片搬送装置具有:保持板,其具有与晶片的一个面面对的保持面;吸引保持部,其按照在保持面上露出的方式设置,以非接触的方式对与保持面面对的晶片进行吸引保持;三个以上的限制部件,它们分别具有能够自转的辊部,通过使辊部与吸引保持部所吸引保持的晶片的外周缘接触,限制晶片的在与晶片的一个面平行的方向上相对于保持板的移动;以及移动单元,其与保持板连接,使保持板移动,从而搬送晶片,三个以上的限制部件中的至少一个限制部件是旋转驱动部,该旋转驱动部在辊部与晶片的外周缘接触的状态下使辊部自转而使晶片旋转。
本发明授权晶片搬送装置在权利要求书中公布了:1.一种晶片搬送装置,其特征在于, 该晶片搬送装置具有: 保持板,其具有与晶片的一个面面对的保持面; 吸引保持部,其按照在该保持面上露出的方式设置,以非接触的方式对与该保持面面对的该晶片进行吸引保持; 三个以上的限制部件,它们分别具有能够自转的辊部,通过使该辊部与该吸引保持部所吸引保持的该晶片的外周缘接触,限制该晶片在与该晶片的该一个面平行的方向上相对于该保持板的移动;以及 移动单元,其与该保持板连接,使该保持板移动,从而搬送该晶片, 该三个以上的限制部件中的至少一个限制部件是旋转驱动部,该旋转驱动部通过在该辊部与该晶片的外周缘接触的状态下使该辊部自转而使该晶片旋转, 该晶片搬送装置还具有外部旋转驱动部,该外部旋转驱动部在与该旋转驱动部的该辊部的侧面接触的状态下使该旋转驱动部的该辊部自转。
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