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FEI 公司C·鲁获国家专利权

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龙图腾网获悉FEI 公司申请的专利使用掠射入射FIB铣削进行样品的大面积3D分析的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112683929B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011109443.6,技术领域涉及:G01N23/00;该发明授权使用掠射入射FIB铣削进行样品的大面积3D分析的方法是由C·鲁;J·王;A·P·J·M·波特曼;J·克里斯蒂安;K·曼尼;G·基斯设计研发完成,并于2020-10-16向国家知识产权局提交的专利申请。

使用掠射入射FIB铣削进行样品的大面积3D分析的方法在说明书摘要公布了:本文公开了使用掠射入射FIB铣削进行样品的大面积3D分析的方法和设备。实例方法至少包括:用聚焦离子束,以浅角度和以多个旋转取向铣削样品,以去除一层所述样品并暴露表面,并且在铣削之后,用带电粒子束对所述样品的暴露表面进行成像。

本发明授权使用掠射入射FIB铣削进行样品的大面积3D分析的方法在权利要求书中公布了:1.一种方法,其包含: 用聚焦离子束,以浅角度和以多个旋转取向铣削样品,以去除一层所述样品;并且 在铣削之后,用带电粒子束对所述样品的暴露表面进行成像; 其中以这样的方式设计局部基准点,即去除样品表面的特定厚度导致局部基准点的可测量外观的可预测的变化,并且其中以高分辨率对一个或多个感兴趣区域进行成像,而以较低分辨率对铣削区域内的周围区域进行成像。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人FEI 公司,其通讯地址为:美国俄勒冈州;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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