苏州迈为科技股份有限公司吴超获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州迈为科技股份有限公司申请的专利连续PVD镀膜设备中阴极的安装系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112707343B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011583814.4,技术领域涉及:B66F9/22;该发明授权连续PVD镀膜设备中阴极的安装系统是由吴超;彭孝龙;张永胜;杨肸曦;解传佳设计研发完成,并于2020-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本连续PVD镀膜设备中阴极的安装系统在说明书摘要公布了:本发明涉及一种连续PVD镀膜设备中阴极的安装系统包括叉车式移载装置、及导向结构,叉车式移载装置包括:底座,在第一方向上具有相对的第一端和第二端,第一端具有导向部;竖直升降机构,安装于底座的第二端,左右调节组件,连接于竖直升降机构;承重货叉,连接于左右调节组件以能够沿第二方向往复移动,第二方向垂直于第一方向及垂直竖直方向,承重货叉包括沿第一方向延伸的叉臂,叉臂的面对底座的一侧设有吊勾;及向结构,设置于镀膜工艺室的下方,用于与所述底座的导向部配合,以引导车式移载装置朝向镀膜工艺室移动并限定所叉车式移载装置的移动位置,较传统天车,对厂房的结构强度和高度的要求较低。
本发明授权连续PVD镀膜设备中阴极的安装系统在权利要求书中公布了:1.一种连续PVD镀膜设备中阴极的安装系统,其特征在于,包括叉车式移载装置、及导向结构,其中 所述叉车式移载装置包括: 底座,所述底座在第一方向上具有相对的第一端和第二端,所述第一端具有导向部; 竖直升降机构,安装于所述底座的第二端, 左右调节组件,连接于所述竖直升降机构,以在所述竖直升降机构的驱动下沿竖直方向升降; 承重货叉,连接于左右调节组件以能够沿第二方向往复移动,所述第二方向垂直于所述第一方向及垂直于所述竖直方向,其中所述承重货叉包括至少一根沿所述第一方向延伸的叉臂,所述叉臂的面对所述底座的一侧设有吊勾;及 所述导向结构设置于镀膜工艺室的下方,所述导向结构用于与所述底座的导向部配合,以引导所述叉车式移载装置朝向所述镀膜工艺室移动并限定所述叉车式移载装置的移动位置; 所述底座包括平行设置的一对支撑腿,每个所述支撑腿的远离所述竖直升降机构的端部设有所述导向部; 所述导向结构包括间隔设置的第一导向件和第二导向件,所述第一导向件包括彼此垂直的第一导向壁和第一挡壁,所述第二导向件包括彼此垂直的第二导向壁和第二挡壁, 其中所述第一导向壁平行于所述第二导向壁且沿所述支撑腿的长度方向延伸,所述第一挡壁和所述第二挡壁对向延伸; 所述第一导向壁的一端与所述第一挡壁连接,所述第一导向壁的另一端设有第一导引面,所述第一导引面远离所述第二导向壁并斜向延伸;所述第二导向壁的一端与所述第二挡壁连接,所述第二导向壁的另一端设有第二导引面,所述第二导引面远离所述第一导向壁并斜向延伸;第一导引面和第二导引面之间形成用于插入两个支撑腿的入口; 所述导向部的外表面为圆柱面; 镀膜工艺室底部设置有多个支脚,多个支脚之间形成间隙,导向结构设置于间隙内。
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