株式会社荏原制作所鱼住修司获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社荏原制作所申请的专利垫温度调节装置、垫温度调节方法及研磨装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113618622B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110494699.1，技术领域涉及：B24B37/015；该发明授权垫温度调节装置、垫温度调节方法及研磨装置是由鱼住修司;丸山徹设计研发完成，并于2021-05-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本垫温度调节装置、垫温度调节方法及研磨装置在说明书摘要公布了：提供一种垫温度调节装置，能够提高研磨垫的表面温度的控制响应性，并且能够不在基板产生划痕等缺陷和污染地调节该研磨垫的表面温度。垫温度调节装置5具备：热交换器11，该热交换器配置于研磨垫3的上方，并且被维持在规定的温度；垫温度测定器39，该垫温度测定器对研磨垫3的表面温度进行测定；距离传感器14，该距离传感器对研磨垫3与热交换器11之间的间隔距离进行测定；上下移动机构71，该上下移动机构使热交换器11相对于研磨垫3进行上下移动；以及控制装置40，该控制装置基于垫温度测定器39的测定值来控制上下移动机构71的动作。
本发明授权垫温度调节装置、垫温度调节方法及研磨装置在权利要求书中公布了：1.一种垫温度调节装置，将研磨垫的表面温度调节为规定的目标温度，该垫温度调节装置的特征在于，具备： 热交换器，该热交换器配置于所述研磨垫的上方，并且被维持在规定的温度； 垫温度测定器，该垫温度测定器对所述研磨垫的表面温度进行测定； 至少一个距离传感器，该距离传感器安装在所述热交换器的外表面，并对所述研磨垫与所述热交换器之间的间隔距离进行测定； 上下移动机构，该上下移动机构使所述热交换器相对于所述研磨垫进行上下移动；以及 控制装置，该控制装置基于所述垫温度测定器的测定值和所述距离传感器的测定值来控制所述上下移动机构的动作。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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