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庄红红获国家专利权

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龙图腾网获悉庄红红申请的专利一种电容式MEMS麦克风结构及其制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113727265B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110860300.7,技术领域涉及:H04R19/04;该发明授权一种电容式MEMS麦克风结构及其制造方法是由庄红红设计研发完成,并于2021-07-28向国家知识产权局提交的专利申请。

一种电容式MEMS麦克风结构及其制造方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种电容式MEMS麦克风结构及其制造方法,包括:衬底;振膜,振膜位于衬底上方;背板,背板位于振膜上方,背板包括电极区和非电极区;支架,支架位于衬底和背板之间,用于支撑振膜和背板;气隙,气隙位于振膜、背板以及支架之间;其中,电容式MEMS麦克风结构还包括加强背板的机械强度的加固框,加固框设置于非电极区的背板的表面。本发明的电容式MEMS麦克风结构中设置有加固框,能够提高背板的机械强度,并避免因为局部应力过于集中而产生裂纹损坏,有助于提升电容式MEMS麦克风的性能和可靠性。

本发明授权一种电容式MEMS麦克风结构及其制造方法在权利要求书中公布了:1.一种电容式MEMS麦克风结构,其特征在于,包括: 衬底; 振膜,所述振膜位于所述衬底上方; 背板,所述背板位于所述振膜上方,所述背板包括电极区和非电极区; 支架,所述支架位于所述衬底和所述背板之间,用于支撑所述振膜和所述背板; 气隙,所述气隙位于所述振膜、所述背板以及所述支架之间; 其中,所述电容式MEMS麦克风结构还包括加强所述背板的机械强度的加固框,所述加固框设置于所述非电极区的背板的表面,所述加固框环绕所述电极区设置,所述加固框与所述支架靠近气隙的侧壁连接; 所述加固框上设置有多个第一声孔,与所述加固框对应的背板区域设置有多个与所述第一声孔对应的第二声孔,所述第一声孔、所述第二声孔以及所述气隙依次连通。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人庄红红,其通讯地址为:广东省深圳市龙岗区南湾街道下李朗社区不澜路17号新光制药厂宿舍楼1栋101;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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