FEI 公司T·维斯塔维尔获国家专利权
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龙图腾网获悉FEI 公司申请的专利用于动态带对比度成像的方法和系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113745080B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110592325.3，技术领域涉及：H01J37/08；该发明授权用于动态带对比度成像的方法和系统是由T·维斯塔维尔;P·斯泰斯卡尔设计研发完成，并于2021-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于动态带对比度成像的方法和系统在说明书摘要公布了：动态带对比度图像DBCI利用使用带电粒子束在样品的多个扫描位置处获取的散射图案来构造。通过沿着衍射带对对应散射图案进行积分来产生所述DBCI的每个像素。所述DBCI包含带电粒子通道条件，且可用于检测样品缺陷。
本发明授权用于动态带对比度成像的方法和系统在权利要求书中公布了：1.一种用于对样品进行成像的方法，其包括： 利用带电粒子束扫描所述样品的多个扫描位置； 获取从所述样品发射的带电粒子； 利用获取的带电粒子形成多个散射图案，其中在所述多个扫描位置中的每个扫描位置处形成一个散射图案； 基于所述多个散射图案形成积分散射图案； 基于所述积分散射图案中的菊池线确定衍射带在所述多个散射图案中的位置；以及 基于所述衍射带的所述位置，从所述多个散射图案来构造动态带对比度图像DBCI。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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