细美事有限公司朴珉贞获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利基板处理设备和基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113964054B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110818898.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理设备和基板处理方法是由朴珉贞;李正悦;闵忠基;徐庚进设计研发完成，并于2021-07-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理设备和基板处理方法在说明书摘要公布了：本发明构思提供一种基板处理设备和基板处理方法。基板处理设备可以包括：支撑基板的支撑单元；将液体供应到由所述支撑单元支撑的所述基板上的液体供应单元；以及控制所述液体供应单元和所述支撑单元的控制器，所述液体供应单元可以包括以流模式排放第一处理液的预处理喷嘴、和以液幕模式排放第二处理液的主喷嘴，并且所述控制器可以控制所述支撑单元，使得：当所述第一处理液从所述主喷嘴排放时所述基板的旋转方向与当所述第二处理液从所述预处理喷嘴排放时所述基板的旋转方向彼此相反。
本发明授权基板处理设备和基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理设备，包括： 支撑单元，其被配置为支撑基板； 液体供应单元，其被配置为将液体供应到由所述支撑单元支撑的所述基板上；以及 控制器，其被配置为控制所述液体供应单元和所述支撑单元， 其中所述液体供应单元包括： 预处理喷嘴，其被配置为以流模式排放第一处理液；以及 主喷嘴，其被配置为以液幕模式排放第二处理液，并且 其中所述控制器控制所述支撑单元，使得：当所述第一处理液从所述预处理喷嘴排放时所述基板的旋转方向与当所述第二处理液从所述主喷嘴排放时所述基板的旋转方向彼此相反。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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