三星显示有限公司姜爀获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉三星显示有限公司申请的专利掩模干燥装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114068277B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110634856.4，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权掩模干燥装置是由姜爀;金栽豊;安昶昱设计研发完成，并于2021-06-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本掩模干燥装置在说明书摘要公布了：公开了一种掩模干燥装置。所述掩模干燥装置包括：腔室；等离子体产生部件，连接于腔室的一侧壁；第一干燥部件，布置在垂直于一侧壁的腔室的下部壁；掩模固定部件，固定掩模；以及旋转部件，连接于掩模固定部件，其中，掩模固定部件能够借由旋转部件而在等离子体产生部件与第一干燥部件之间旋转。
本发明授权掩模干燥装置在权利要求书中公布了：1.一种掩模干燥装置，其特征在于，包括： 腔室； 等离子体产生部件，连接于所述腔室的一侧壁，用于干燥和或清洗掩模； 第一干燥部件，布置在垂直于所述一侧壁的所述腔室的下部壁； 掩模固定部件，固定所述掩模；以及 旋转部件，布置于所述腔室内，并且连接于所述掩模固定部件， 其中，所述掩模固定部件能够借由所述旋转部件而在所述等离子体产生部件与所述第一干燥部件之间进行往复旋转，使得能够在所述腔室内执行借由所述等离子体产生部件的等离子体处理以及借由所述第一干燥部件的热处理。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人三星显示有限公司，其通讯地址为：韩国京畿道龙仁市；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励