阜阳欣奕华材料科技有限公司王旭获国家专利权
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龙图腾网获悉阜阳欣奕华材料科技有限公司申请的专利KrF树脂及其制备方法和化学放大型光致抗蚀剂获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115725015B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211415694.6，技术领域涉及：C08F212/14；该发明授权KrF树脂及其制备方法和化学放大型光致抗蚀剂是由王旭;黄常刚;李琳;张路设计研发完成，并于2022-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本KrF树脂及其制备方法和化学放大型光致抗蚀剂在说明书摘要公布了：本申请提供一种KrF树脂及其制备方法和化学放大型光致抗蚀剂，涉及半导体领域。KrF树脂，其结构通式为：KrF树脂的制备方法，包括：将包括4‑乙酰氧基苯乙烯、第一单体化合物、第二单体化合物和引发剂在内的原料混合，进行第一反应；然后向体系内加入醋酸铵‑水混悬液，进行第二反应，得到所述KrF树脂；所述第一单体化合物为包括高紫外吸收基团的化合物，所述第二单体化合物为包括低活化能脱保护酸性基团的化合物。化学放大型光致抗蚀剂，包括所述的KrF树脂。本申请提供的KrF树脂，具备UV吸收可控、脱保护活化能较低等特点。该化学放大型光致抗蚀剂具备在不同透过率要求下均有良好显影图形结果的能力。
本发明授权KrF树脂及其制备方法和化学放大型光致抗蚀剂在权利要求书中公布了：1.一种KrF树脂，其特征在于，其结构通式为： ； 其中，R1、R2、R3各自独立的为H原子、卤素原子、1-6个碳原子的烷基或烷氧基； R1为羟基，R2为高紫外吸收基团，R3为低活化能脱保护酸性基团； x、y、z分别代表不同种类单体在KrF树脂当中的比例，0＜x＜1，0＜y＜1，0＜z＜1,且x+y+z=1； 所述高紫外吸收基团包括以下结构所示基团中的任一种： 、、、、、； 所述低活化能脱保护酸性基团包括以下结构所示基团中的任一种： 、、、。
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