宁夏隆基乐叶科技有限公司韩晓辉获国家专利权
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龙图腾网获悉宁夏隆基乐叶科技有限公司申请的专利一种工艺环境参数值确定方法及装置、扩散方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115753896B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211294635.8,技术领域涉及:G01N27/04;该发明授权一种工艺环境参数值确定方法及装置、扩散方法及系统是由韩晓辉;赵赞良;王肖肖;王武林;史晨燕设计研发完成,并于2022-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种工艺环境参数值确定方法及装置、扩散方法及系统在说明书摘要公布了:本申请公开了一种工艺环境参数值确定方法及装置、扩散方法及系统,涉及太阳能电池领域,用于提供一种实现提高方阻的稳定性的技术方案。工艺环境参数值确定方法包括:获取当前移栽硅片进入扩散装置的时间段内的当前环境湿度值。获取同一预设工艺环境参数值下在移栽硅片进入扩散装置的时间段内的环境湿度数据和方阻数据的对应关系。基于环境湿度数据和方阻数据的对应关系,确定当前环境湿度值对应的当前方阻值。在当前方阻值和目标方阻值不匹配时,基于目标方阻值下的多个预存环境湿度值、以及每个预存环境湿度值对应的预存工艺环境参数值,确定当前环境湿度值对应的补偿后的工艺环境参数值。
本发明授权一种工艺环境参数值确定方法及装置、扩散方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种工艺环境参数值确定方法,其特征在于,包括: 获取当前移栽硅片进入扩散装置的时间段内的当前环境湿度值; 获取同一预设工艺环境参数值下在移栽硅片进入所述扩散装置的时间段内的环境湿度数据和方阻数据的对应关系; 基于所述环境湿度数据和方阻数据的对应关系,确定所述当前环境湿度值对应的当前方阻值; 在所述当前方阻值和目标方阻值不匹配时,基于所述目标方阻值下的多个预存环境湿度值、以及每个所述预存环境湿度值对应的预存工艺环境参数值,确定所述当前环境湿度值对应的补偿后的工艺环境参数值; 其中,所述基于所述目标方阻值下的多个预存环境湿度值、以及每个所述预存环境湿度值对应的预存工艺环境参数值,确定所述当前环境湿度值对应的补偿后的工艺环境参数值,包括: 对所述目标方阻值下的多个所述预存环境湿度值、以及每个所述预存环境湿度值对应的预存工艺环境参数值进行分析,确定所述目标方阻值下的环境湿度参数和工艺环境参数值之间的拟合关系式; 基于所述拟合关系式和所述当前环境湿度值,确定所述当前环境湿度值对应的所述补偿后的工艺环境参数值。
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