买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉厦门大学申请的专利一种晶圆表面缺陷检测方法、系统、电子设备及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115760844B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211580487.6，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权一种晶圆表面缺陷检测方法、系统、电子设备及介质是由刘暾东;苏永彬;邵桂芳;吴晓敏设计研发完成，并于2022-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆表面缺陷检测方法、系统、电子设备及介质在说明书摘要公布了：本发明公开一种晶圆表面缺陷检测方法、系统、电子设备及介质，涉及半导体晶圆制造领域，该方法将每种类型晶圆取若干张有缺陷和无缺陷图片划分为支持集和查询集，构成任务集；并构建深度学习模型和MAML框架；执行MAML内层循环，取部分任务集中的支持集进行模型训练，训练中的学习率采用ADAM算法进行更新，使用梯度下降法更新内层参数；然后执行MAML外层循环，用查询集继续训练模型，将所有任务的损失函数相加作为外层循环的损失函数，使用梯度下降法对外层参数进行更新；重复执行MAML内层循环和外层循环，直至模型收敛。本发明能够使用较少量的训练样本得到鲁棒性较好的缺陷检测模型，并且泛化能力强、效率高且实用性强。

本发明授权一种晶圆表面缺陷检测方法、系统、电子设备及介质在权利要求书中公布了：1.一种晶圆表面缺陷检测方法，其特征在于，包括： 采集不同类型芯片的晶圆图片构成任务集；所述不同类型芯片包括压力传感器芯片、LED芯片、红外传感器芯片；所述任务集包括支持集和查询集； 基于多个深度学习模型构建MAML框架，并对多个深度学习模型的参数进行随机初始化，得到MAML内层循环的初始化参数； 基于所述MAML框架执行MAML内层循环，利用部分任务集中的支持集训练所述MAML内层循环的初始化参数，得到MAML内层循环更新后的参数向量； 基于所述MAML框架执行MAML外层循环，利用部分任务集中的查询集训练所述MAML内层循环更新后的参数向量，得到MAML外层循环更新后的参数向量； 在执行MAML外层循环过程中，将每个深度学习模型的损失函数相加作为外层循环的总损失函数，并判断所述总损失函数是否收敛； 若所述总损失函数未收敛，将所述MAML外层循环更新后的参数向量作为所述MAML内层循环的初始化参数，返回所述“基于所述MAML框架执行MAML内层循环，利用部分任务集中的支持集训练所述MAML内层循环的初始化参数，得到MAML内层循环更新后的参数向量”的步骤； 若所述总损失函数收敛，将所述MAML外层循环更新后的参数向量赋给所述多个深度学习模型，得到不同类型芯片晶圆的表面缺陷检测模型； 利用所述表面缺陷检测模型对待检测晶圆图片进行表面缺陷检测。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人厦门大学，其通讯地址为：361005 福建省厦门市思明区思明南路422号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。