先导薄膜材料(广东)有限公司张高祥获国家专利权
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龙图腾网获悉先导薄膜材料(广东)有限公司申请的专利一种高密度氧化物靶材及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118932286B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411295103.5，技术领域涉及：C23C14/08；该发明授权一种高密度氧化物靶材及其制备方法是由张高祥;王奇峰;李开杰;吴鸿毅;陆洲;刘成龙设计研发完成，并于2024-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高密度氧化物靶材及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明属于新材料技术领域，公开了一种高密度氧化物靶材的制备方法，将第一氧化物前驱体粉末、第二氧化物前驱体粉末混合后模压成型并烧结，得到靶材；所述第一氧化物前驱体粉末、第二氧化物前驱体粉末中均含有不低于97wt％的氧化铟；所述第一氧化物前驱体粉末的重量相当于第一氧化物前驱体粉末、第二氧化物前驱体粉末的总重量的80％～90％；所述第一氧化物前驱体粉末的粒径为20～30μm；所述第二氧化物前驱体粉末的粒径为45～73μm。本发明的方法针对高氧化铟含量的靶材，采用了少量大粒径前驱体粉末和大量的小粒径前驱体粉末，可以有效的改善该类型的靶材的相对密度、降低电阻率、提高成型效果。同时，本发明还提供了该高密度氧化物靶材。
本发明授权一种高密度氧化物靶材及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种高密度氧化物靶材的制备方法，其特征在于，将第一氧化物前驱体粉末、第二氧化物前驱体粉末混合后模压成型并烧结，得到靶材； 所述第一氧化物前驱体粉末、第二氧化物前驱体粉末中均含有不低于97wt%的氧化铟； 所述第一氧化物前驱体粉末的重量相当于第一氧化物前驱体粉末、第二氧化物前驱体粉末的总重量的80%～90%； 所述第一氧化物前驱体粉末的粒径为20～30μm；所述第二氧化物前驱体粉末的粒径为45～73μm。
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