复旦大学张凡获国家专利权
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龙图腾网获悉复旦大学申请的专利一种具有核壳结构的氧化铈复合磨粒、其制备方法及应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119490818B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411649415.1,技术领域涉及:C09K3/14;该发明授权一种具有核壳结构的氧化铈复合磨粒、其制备方法及应用是由张凡;袁薇;刘金华设计研发完成,并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有核壳结构的氧化铈复合磨粒、其制备方法及应用在说明书摘要公布了:本发明属于抛光材料领域,涉及一种具有核壳结构的氧化铈复合磨粒、其制备方法及应用。具有核壳结构的氧化铈复合磨粒包括实心氧化铈纳米球构成的内核,以及介孔氧化铈纳米材料构成的包覆壳层。氧化铈复合磨粒的内核结构致密,包覆壳层具有丰富的孔结构和较大的比表面积。氧化铈复合磨粒的表层为介孔氧化铈,能够使晶片表面的粗糙度下降。内核提供的内部支撑可以减少介孔氧化铈纳米材料的坍塌,使氧化铈复合磨粒具有较好的耐磨性能。相比单一的氧化铈颗粒,本发明的氧化铈复合磨粒的化学反应活性以及材料去除速率显著提升,可以在超精密表面的抛光过程中显著提高材料去除速率、抛光效率以及表面质量,以满足现代芯片行业的高精度制造工艺的需求。
本发明授权一种具有核壳结构的氧化铈复合磨粒、其制备方法及应用在权利要求书中公布了:1.一种具有核壳结构的氧化铈复合磨粒,其特征在于,包括实心氧化铈纳米球构成的内核,以及介孔氧化铈纳米材料构成的包覆壳层;所述内核由实心氧化铈纳米球经过聚乙烯亚胺进行表面改性处理制得;所述内核的直径为100-200nm,所述包覆壳层的厚度为10-50nm。
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