买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉浙江芯微泰克半导体有限公司申请的专利管式炉的变形检测方法、变形检测组件及变形检测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119687820B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411904586.4，技术领域涉及：G01B11/16；该发明授权管式炉的变形检测方法、变形检测组件及变形检测系统是由王冲;陈轮兴;义岚设计研发完成，并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本管式炉的变形检测方法、变形检测组件及变形检测系统在说明书摘要公布了：本申请实施例公开了一种管式炉的变形检测方法、变形检测组件及变形检测系统。该方法通过对变形检测组件中的出光器件进行调整，以使得出光器件发出的照射光从管式炉的第一端处射入至管式炉的内腔中，并在管式炉的内腔壁处反射至管式炉的第二端的预设位置处，同时控制出光器件沿管式炉的圆周方向移动至少一次，以获取照射光每次在第二端处的第一停留位置，最后根据预设位置和第一停留位置，便可以准确的知晓管式炉是否发生变形，进而可以避免出现晶圆无法顺利从管内取出。

本发明授权管式炉的变形检测方法、变形检测组件及变形检测系统在权利要求书中公布了：1.一种管式炉的变形检测方法，其特征在于，包括： 对变形检测组件中的出光器件进行调整，以使得所述出光器件发出的照射光从所述管式炉的第一端处射入至所述管式炉的内腔中，并在所述管式炉的内腔壁处反射至所述管式炉的第二端的预设位置处； 控制所述出光器件沿所述管式炉的圆周方向移动至少一次，以获取所述照射光每次在所述第二端处的第一停留位置； 根据所述预设位置和所述第一停留位置，确定所述管式炉是否变形； 所述根据所述预设位置和所述第一停留位置，确定所述管式炉是否变形，包括： 获取所述出光器件每次沿所述管式炉的圆周方向移动后，所述照射光的第一停留位置与所述预设位置之间的第一偏移量； 若每次移动后的所述第一偏移量小于预设的第一阈值，控制所述出光器件沿所述管式炉的径向方向移动，并对所述出光器件进行俯仰调节，以使得所述照射光由所述内腔壁反射至所述预设位置处； 控制所述出光器件沿所述圆周方向移动至少一次，以获取所述照射光每次在所述第二端处的第二停留位置； 根据所述预设位置和所述第二停留位置，确定所述管式炉是否变形； 所述变形检测组件包括： 出光器件，被配置为进行俯仰调节，及沿所述管式炉的圆周方向旋转； 其中，所述出光器件发出的照射光被配置为从所述管式炉的第一端处射入至所述管式炉的内腔中，并在所述管式炉的内腔壁处反射至所述管式炉的第二端处，所述第一端、所述第二端分别为所述管式炉相对应的两端。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江芯微泰克半导体有限公司，其通讯地址为：323000 浙江省丽水市莲都区南明山街道上徐路2号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。