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南昌大学;南昌实验室;南昌硅基半导体科技有限公司吴小明获国家专利权

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龙图腾网获悉南昌大学;南昌实验室;南昌硅基半导体科技有限公司申请的专利一种带静电保护功能的LED芯片及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119923033B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411897170.4,技术领域涉及:H10H20/01;该发明授权一种带静电保护功能的LED芯片及其制备方法是由吴小明;何云娟;王立;魏平;夏邦美设计研发完成,并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。

一种带静电保护功能的LED芯片及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种带静电保护功能的LED芯片及其制备方法,包括以下步骤:在衬底上生长外延层,所述外延层从下至上包括依次层叠的N型半导体层、活性层和P型半导体层;在外延层上刻蚀出通孔,暴露出N型半导体层;制备介质层、反射层、晶圆键合阻挡层和晶圆键合粘结层,将晶圆键合粘结层与基板上的晶圆键合粘结层共晶键合;去除衬底;肖特基电极保护光刻;制备去边层,并光刻外延层形成沟道;制备钝化层,制备肖特基电极;图形化钝化层和去边层,制备N面电极。本发明通过在LED芯片的焊盘下方设置肖特基二极管,在不牺牲光功率的前提下,提高LED的抗静电放电能力。

本发明授权一种带静电保护功能的LED芯片及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种带静电保护功能的LED芯片的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: S1:在衬底上生长外延层,所述外延层从下至上包括依次层叠的N型半导体层、活性层和P型半导体层; S2:在外延层上刻蚀出通孔,暴露出N型半导体层; S3:制备介质层,所述介质层覆盖通孔侧壁; S4:在P型半导体层的表面制备反射层; S5:在外延层的表面制备晶圆键合阻挡层和晶圆键合粘结层,所述晶圆键合阻挡层填充通孔并通过通孔与N型半导体层形成欧姆接触,所述晶圆键合粘结层填平通孔; S6:将晶圆键合粘结层与基板上的晶圆键合粘结层共晶键合; S7:去除衬底,暴露出N型半导体层的一侧; S8:保护肖特基电极区域的N型半导体层,刻蚀和粗化其他未保护区域的N型半导体层; S9:在暴露出的N型半导体层的表面制备去边层,并光刻外延层和去边层形成沟道; S10:制备钝化层,并在N型半导体层的表面与通孔对应位置制备肖特基电极; S11:图形化钝化层和去边层; S12:制备N电极。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人南昌大学;南昌实验室;南昌硅基半导体科技有限公司,其通讯地址为:330000 江西省南昌市红谷滩区学府大道999号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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