浙江大学刘东获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利一种基于偏振光栅的载频干涉检测装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119934963B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510123388.2,技术领域涉及:G01B9/02;该发明授权一种基于偏振光栅的载频干涉检测装置及方法是由刘东;何建瑶;李欣明;徐兆锐;彭韶婧;吴兰设计研发完成,并于2025-01-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于偏振光栅的载频干涉检测装置及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于偏振光栅的载频干涉检测装置和方法,利用偏振光栅将参考光与测试光产生一定角度的分离来实现载频,并通过最小二乘迭代空间载波移相解调算法解调面形,从而将空间移相转化为时间移相,提高解调精度且避免了由偏振相机引入的像素与像素间的偏振误差,实现了高精度载频干涉检测。该基于偏振光栅的载频干涉检测方法只需单幅载频干涉图即可计算面型,适合动态测量,且有效解决了传统载频干涉检测法中像素间的偏振误差问题。利用本发明,可以有效且高精度的实现待测物体面形的动态载频干涉检测。
本发明授权一种基于偏振光栅的载频干涉检测装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种基于偏振光栅的载频干涉检测装置,其特征在于,包括干涉检测系统和计算机处理模块; 所述的干涉检测系统中,可调谐激光器1出射光束经过第一线偏振片2后入射至准直扩束系统3的光接受面,经该准直扩束系统3准直扩束后的出射光束入射至偏振分光棱镜4分光;其中一路垂直偏振光反射后经过第一四分之一波片5,后经过参考镜6反射后原路返回作为参考光;另一路水平偏振光透射经过第二四分之一波片7,先后经过扩束镜第一透镜8和扩束镜第二透镜9,扩束后经过待测镜10反射后原路返回作为待测光;两束光因分别经过第一四分之一波片5和第二四分之一波片7两次,偏振态转换,再次经过偏振分光棱镜4后合为一束光束,然后入射到分光镜11表面;其中一部分光透射后经第一成像透镜12会聚入射到对准相机13上,用于调校光路,一部分光反射后经第二成像透镜14会聚后先经过第三四分之一波片15,再经过偏振光栅16产生载频,最后经过第二线偏振片17统一偏振态后将干涉条纹成像在CMOS相机18上,得到干涉图; 所述的计算机处理模块包括相位控制模块、图像采集模块、干涉图数据分析处理模块;其中,相位控制模块与可调谐激光器1的控制器连接,通过调节可调谐激光器1的控制器电压,使得可调谐激光器1的波长改变,从而实现相位控制;图像采集模块与CMOS相机18相连,在得到待测镜10与参考镜6干涉成像的载频干涉图图像后,将数据传输至干涉图数据分析处理模块进行分析处理,得到待测镜10的面形信息。
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