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龙图腾网获悉深圳市新凯来工业机器有限公司申请的专利晶圆的加工调度方法和装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119943717B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510054366.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权晶圆的加工调度方法和装置是由蒋丽;童夏良;雷莉设计研发完成，并于2025-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆的加工调度方法和装置在说明书摘要公布了：本申请提供晶圆的加工调度方法和装置，该方法包括基于所述目标机台信息和所述目标晶圆加工信息从离线调度方案库中查询离线调度方案；若从所述离线调度方案库中查询得到目标离线调度方案，则输出所述目标离线调度方案作为所述待加工晶圆的加工调度方案；若从所述离线调度方案库中没有查询得到所述目标离线调度方案，则基于所述目标机台信息和所述目标晶圆加工信息生成所述待加工晶圆的在线调度方案，输出所述在线调度方案作为所述待加工晶圆的加工调度方案；执行所述待加工晶圆的加工调度方案。采用本申请，可丰富加工调度方案的获取方式，增强获取加工调度方案的灵活性，并进一步提高晶圆的加工调度处理能力，适用性强。

本发明授权晶圆的加工调度方法和装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆的加工调度方法，其特征在于，所述方法包括： 获取目标机台信息和待加工晶圆的目标晶圆加工信息，基于所述目标机台信息和所述目标晶圆加工信息从离线调度方案库中查询离线调度方案，其中，所述离线调度方案库中包括多个离线调度方案，且各个所述离线调度方案中对应的晶圆加工流程配置的使用次数大于或等于上限使用次数阈值，任一所述离线调度方案中对应的晶圆加工流程配置的使用次数用于指示所述任一所述离线调度方案的执行次数； 若从所述离线调度方案库中查询得到目标离线调度方案，则输出所述目标离线调度方案作为所述待加工晶圆的加工调度方案，其中，所述目标离线调度方案中的机台信息和晶圆加工信息中的至少一项与所述目标机台信息和所述目标晶圆加工信息中的至少一项一致； 若从所述离线调度方案库中没有查询得到所述目标离线调度方案，则基于所述目标机台信息和所述目标晶圆加工信息生成所述待加工晶圆的在线调度方案，输出所述在线调度方案作为所述待加工晶圆的加工调度方案； 执行所述待加工晶圆的加工调度方案，以完成所述待加工晶圆的加工调度。

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