北京特思迪半导体设备有限公司汪岳鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉北京特思迪半导体设备有限公司申请的专利对谱学测量数据进行参数拟合的方法、厚度测量方法及设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120508744B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510971481.9，技术领域涉及：G06F17/18；该发明授权对谱学测量数据进行参数拟合的方法、厚度测量方法及设备是由汪岳鹏;蒋继乐;寇明虎设计研发完成，并于2025-07-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本对谱学测量数据进行参数拟合的方法、厚度测量方法及设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种对谱学测量数据进行参数拟合的方法、厚度测量方法及设备，方法包括：获取目标谱学测量数据；基于目标谱学测量数据中的自变量范围确定间隔节点；对以各间隔节点构建的自定义函数进行曲线拟合，得到多个第一候选拟合函数；计算各第一候选拟合函数与目标谱学测量数据的第一均方根误差；获取第一均方根误差最小的当前最优拟合函数的当前均方根误差值；响应于当前均方根误差值符合预设收敛条件，基于预设收敛条件将对应的第一候选拟合函数作为目标谱学测量数据的目标拟合方程。通过实施本发明，在不同位置逐步添加峰并优化拟合的方式逼近待拟合数据，能够实现高效、准确的自动化拟合并得出较准确的各峰位置、强度信息。
本发明授权对谱学测量数据进行参数拟合的方法、厚度测量方法及设备在权利要求书中公布了：1.一种对谱学测量数据进行参数拟合的方法，其特征在于，包括： 获取目标谱学测量数据； 基于所述目标谱学测量数据中的自变量范围确定间隔节点； 对以各所述间隔节点构建的自定义函数进行曲线拟合，得到多个第一候选拟合函数； 计算各所述第一候选拟合函数与所述目标谱学测量数据的第一均方根误差； 获取所述第一均方根误差最小的当前最优拟合函数的当前均方根误差值； 响应于所述当前均方根误差值符合预设收敛条件，基于所述预设收敛条件将对应的第一候选拟合函数作为所述目标谱学测量数据的目标拟合方程； 其中，所述对以各所述间隔节点构建的自定义函数进行曲线拟合，得到多个第一候选拟合函数，包括： 分别以各所述间隔节点为对称中心，构建对应的自定义函数；所述自定义函数为PseudoVoigt函数； 以所述目标谱学测量数据为目标数据，对各所述自定义函数进行曲线拟合，得到所述多个第一候选拟合函数。
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