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龙图腾网获悉上海隐冠半导体技术有限公司申请的专利固定装置和半导体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120578020B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511099809.9，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权固定装置和半导体设备是由田悦;陈啸虎;吴宇航;吴火亮;江旭初设计研发完成，并于2025-08-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本固定装置和半导体设备在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体设备技术领域，公开了一种固定装置和半导体设备。本申请实施例的固定装置，包括夹持组件，夹持组件用于夹持掩模版或晶圆；支撑组件，支撑组件用于沿第一方向支撑掩模版或晶圆，以及用于调节掩模版或晶圆与第一平面之间的夹角，其中，第一平面垂直于第一方向；旋转调节机构，旋转调节机构包括驱动组件，其中，驱动组件用于驱动掩模版或晶圆旋转，掩模版或晶圆的旋转轴与第一方向平行。本申请实施例的固定装置，能够通过支撑组件调节掩模版或晶圆的Rx角和Ry角，通过旋转调节机构调节掩模版或晶圆的Rz角，从而可以实现掩模版或晶圆的空间姿态多角度调整，可精确控制掩模版的固定角度。

本发明授权固定装置和半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种固定装置，其特征在于，包括： 夹持组件10，所述夹持组件10用于夹持掩模版或晶圆；所述夹持组件10包括柔性触点，所述柔性触点用于与所述掩模版或晶圆的边缘抵接； 支撑组件20，所述支撑组件20用于沿第一方向支撑所述掩模版或晶圆，以及用于调节所述掩模版或晶圆与第一平面之间的夹角，其中，所述第一平面垂直于所述第一方向； 旋转调节机构30，所述旋转调节机构30包括驱动组件，其中，所述驱动组件用于驱动所述掩模版或晶圆旋转，所述掩模版或晶圆的旋转轴与所述第一方向平行； 所述夹持组件10包括第一夹持底座101a，以及设置在所述第一夹持底座101a上的第一电机102、摆臂103和弹性件104；其中： 所述摆臂103包括沿第二方向延伸的第一臂1031和沿第三方向延伸的第二臂1032，所述第一臂1031沿所述第二方向的一端与所述第二臂1032沿所述第三方向的一端连接，所述第一臂1031沿所述第二方向的另一端与所述弹性件沿其弹性方向的一端连接，所述弹性件104沿其弹性方向的另一端与所述第一夹持底座101a固定连接；所述柔性触点设置在所述第二臂1032沿所述第三方向的另一端；所述第二方向与所述第三方向相交，且均垂直于所述第一方向； 所述第一臂1031与所述第二臂1032的连接处设有旋转轴承，所述旋转轴承与所述第一夹持底座101a连接； 所述弹性件104与所述第二臂1032分别设于所述第一电机102沿第四方向相背的两侧，所述第一电机102用于沿第五方向推动所述第一臂1031，所述第一方向、所述第四方向与所述第五方向两两垂直； 所述第三方向与所述第五方向之间呈锐角，并且所述第二臂1032沿所述第三方向与所述第一臂1031连接的一端，相较于所述第二臂1032沿所述第三方向的另一端更为靠近所述第一电机102。

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